판매용 중고 MRC 602 #9008360

MRC 602는 Wenzhou Keda Vacuum Technology Co., Ltd.에서 제조 한 다기능 스퍼터링 장비입니다. 기판에 얇은 코팅 재료를 입금하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 초고 진공 베이스 탱크, 스퍼터링 챔버 2 개, 베이크 챔버 2 개 및 멀티 컬러 이더넷 운영 장치로 구성됩니다. 초고 진공베이스 탱크는 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 와 베이크 챔버 (bake chamber) 를 10-4 P 미만의 진공 수준으로 미리 펌핑하는 데 사용됩니다. 이 진공은 기본 탱크에서 분리되어 별도의 독립 챔버를 만듭니다. 2 개의 스퍼터링 챔버에는 7 개의 층 진공 내성 스테인리스 스틸 배플 (stainless baffle) 이 장착되어 있어 매우 높은 진공 상태를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 방에는 스퍼터링 처리 중 난방/냉각을 위해 활성 냉각기가 장착되어 있습니다. 이중 스퍼터링 챔버에는 13 위치 고출력 마그네트론 스퍼터링 소스가 장착되어 있습니다. 이 스퍼터링 소스는 분당 0.05 ~ 10 나노 미터의 증착율을 생성 할 수 있으며, 기질의 정밀 박막 코팅이 가능합니다. 또한, 소스에는 독립적인 AC 전원이 장착되어 있어, 유연성 및 안정성 향상을 위해 높은 전원 및 낮은 전원 설정을 모두 조정할 수 있습니다. 2 개의 베이크 챔버는 스퍼터링 처리 중에 기판 온도를 최대 300 ° C까지 상승시키는 데 사용됩니다. 이 로 인해 온도 를 더 잘 조절 할 수 있으며, 또한 더 많은 수 의 "스퍼터링 '재료 를 처리 할 수 있게 된다. 베이크 챔버에는 열전대 피드백 제어 도구 (thermocouple feedback control tool) 가 장착되어 있어 스퍼터링 프로세스 동안 더 빠르고 정확한 온도 제어가 가능합니다. 마지막으로, 멀티 컬러 이더넷 운영 자산은 스퍼터링 모델을 제어하는 데 사용됩니다. 여기에는 스퍼터링 소스의 정밀 제어, 베이크 챔버 온도 및 초고 진공베이스 탱크가 포함됩니다. 이를 통해 사용자는 장비 설정을 빠르고 쉽게 사용자 정의하여 특정 요구 사항을 충족할 수 있습니다 (영문). 전반적으로 602는 고급적이고 다재다능한 스퍼터링 시스템입니다. 그것의 특징과 정확한 제어는 기판에서 코팅의 정확한 박막 증착을 보장합니다. 또한 초고진공 (ultra-high vacuum), 고출력 마그네트론 스퍼터링 소스 (magnetron sputtering source) 및 열전대 피드백 제어 시스템 (thermocouple feedback control system) 과 같은 고급 기술을 사용하여 탁월한 성능과 안정성을 보장합니다.