판매용 중고 MEIVAC / ALCATEL / COMPTECH 2460 #9261538

MEIVAC/ALCATEL/COMPTECH 2460 스퍼터링 장비는 다양한 재료의 박막을 다양한 기판에 배치하기위한 고급, 다용도 및 신뢰할 수있는 도구입니다. 박막 청소, 코팅, 절연을 초래하는 여러 층의 화합물을 처리량 증착 (high-throughput deposition) 하도록 설계되었습니다. 이 도구의 모듈식 디자인은 인쇄, 평면 패널 디스플레이, 센서, 바이오 메디컬 장치 (bio-medical device) 등 다양한 어플리케이션에 대해 최대 3 개의 협력 대상에서 박막 증착 및 특성화에 적합합니다. MEIVAC 2460에는 격리 밸브와 터보 펌프 (turbo-pump) 가있는 초고 진공 포트로 구성된 진공 챔버가 장착되어 있습니다. 이 챔버에는 정확하게 통제 된 저압 환경을 제공하는 가스 제어 시스템 (gas control system) 이 장착되어 있습니다. 이 장치 는 총 압력 을 능동적 으로 제어 하고, "스퍼터링 '에 사용 되는 여러 가지" 가스' 에서 선택 하여 "박막 '을 특징 짓도록 한다. 또한, 챔버에는 온도 안정화를 위해 내부 수냉식 장치 (internal water cooling machine) 와 기판을 도입 할 수있는 다양한 가능성을 제공하는 강력한 표적 지원 (Strast Target Support) 이 장착되어 있습니다. 증착 프로세스는 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 갖춘 PC 기반 전자 공구로 제어됩니다. ALCATEL 2460에는 공동 증착 소스, 고출력 및 특수 설계 소스를 포함한 다양한 스퍼터 소스가 있습니다. 각 소스 (source) 는 성능 최적화 및 엔지니어링 품질 (Quality Result) 을 보장하기 위해 프로세스 및 기판과 정확하게 일치합니다. 스퍼터 소스는 Ar +, Ar++, 반응 가스 이온 및 기타와 같은 광범위한 이온 종을 제공하여 증착 속도와 균일성을 미세하게 튜닝 할 수 있습니다. Co-deposition 소스는 제어 된 마이크로 구조로 다양한 계층 구조를 생성 할 수 있습니다. COMPTECH 2460 스퍼터 자산은 뛰어난 성능, 안정적인 작동 및 맞춤형 구성을 제공합니다. 운영 매개변수 (operating parameters) 와 배치 프로세스 (deposition process) 에 대한 모든 제어 범위를 제공합니다. 진공실 내에서 공정 (process) 모니터링이 가능하며, 다양한 정밀 공정 기기로 공정 (process) 제어가 뛰어납니다. 저항성 (resistive), 정전용량 (capacitive), 광학 (optical) 또는 자성 (magnetic properties) 이 필요하며 높은 정확도와 높은 처리량으로 우수한 재료 증착이 가능한 응용 프로그램을위한 필름을 만드는 데 이상적입니다. 2460 스퍼터 모델은 안정적인 고성능 박막 레이어로 기판을 코팅하기위한 최적의 도구입니다.