판매용 중고 MEIVAC / ALCATEL / COMPTECH 2460 #9130264
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MEIVAC/ALCATEL/COMPTECH 2460 스퍼터링 장비는 균일 한 박막을 기판에 입금하기위한 고성능, 비용 효율적인 시스템입니다. 이 장치는 마그네트론 스퍼터 건, 최대 4 개의 목표, 진공 챔버, 전원 공급 장치 및 자동 xy 스테이지가있는 카세트 로딩/언로딩 머신으로 구성됩니다. 마그네트론 스퍼터 건 (magnetron sputter gun) 은 표적 물질 의 원자 들 을 기질 위 로 폭격 하는 데 사용 되어, 기질 을 고착 시켜 얇은 "필름 '을 형성 한다. MEIVAC 2460 스퍼터링 도구는 최대 4 개의 타겟을 가질 수 있으며, 서로 다른 재료의 여러 층을 증착 할 수 있습니다. 박막 증착에서 높은 수준의 반복성과 균일성을 제공하는 컴퓨터 제어 진공 챔버 (computer-controlled vacuum chamber) 가 장착되어 있습니다. 컴퓨터 제어 xy 스테이지는 기판 카세트의 자동 로드 및 언로드를 허용합니다. 전원 공급 장치 (power supply unit) 는 마그네트론 스퍼터 건 (magnetron sputter gun) 과 대상 재료 (target material) 에 전원을 공급하며 필요한 증착률을 수용하도록 조정할 수 있습니다. 마그네트론 스퍼터 건 (magnetron sputter gun) 은 효율성과 증착의 균일성을 극대화하는 독특한 디자인을 가지고 있습니다. "가스 '조절 자산 은" 필름' 증착 및 "모델 '내 의 불순물 조절 을 위한 적절 한 환경 을 제공 한다. 또한 ALCATEL 2460 장비는 내부 압력 스위치 (Internal Pressure Switch), 열 모니터링 시스템 (Thermal Monitoring System) 과 같은 다양한 안전 기능을 제공하여 구성 요소의 과열을 방지합니다. 또한 단락 회로, 과전압, 전류 제한 보호 등의 몇 가지 추가 보호 기능이 있습니다. COMPTECH 2460 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 은 비용 효율적이고 신뢰할 수 있는 박막 증착 툴로, 다양한 산업 응용 분야에 적합합니다. 광범위한 기판을 코팅할 수 있는 강력하고 효율성이 높은 자산으로서, 2460 개의 스퍼터링 모델은 사용자에게 정확한 균일성 (unifority), 반복 가능성 (repeatability) 및 증착 매개변수 제어를 제공합니다.
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