판매용 중고 MEIVAC / ALCATEL / COMPTECH 2460 HEDA #9203525

MEIVAC/ALCATEL/COMPTECH 2460 HEDA는 반도체 및 디스플레이 제조를 포함한 다양한 응용 분야에 사용되는 다용도 스퍼터링 장비입니다. 박막 증착의 생산에 맞게 조정되어 있어 순도가 높은 질화물 붕소 (boron nitride) 와 다이아몬드 같은 탄소 층이 생성됩니다. 이 시스템은 스퍼터 에칭 (sputter etching), 반응성 스퍼터링 (reactive sputtering), 이온 이식 (ion implantation) 과 같은 공정을 수행 할 수있는 다른 재료 외에도 실리콘 산화물, 질화물 및 탄화물과 같은 증착을위한 광범위한 표적 물질을 생성 할 수 있습니다. MEIVAC 2460 HEDA는 한 번에 최대 15 개의 웨이퍼를 배치할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 시간을 절약하고 처리량을 늘릴 수 있습니다. 또한 고품질의 고성능 크리스탈 필름을 만듭니다. 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 과 같은 첨단 기술은 제어성을 높이고 정확하고 코팅을 향상시키는 데 도움이됩니다. 이 장치의 정교한 프로세스 제어/모니터링 시스템을 사용하면 배치 프로세스를 실시간으로 모니터링, 진단, 수정할 수 있습니다. 알카텔 2460 HEDA (ALCATEL 2460 HEDA) 는 4 개의 독립적 인 고밀도 이온 소스와 4 개의 클러스터 고류 전력 소스를 사용하여 고효율 알루미네이션 프로세스와 대상 코팅을 보장하여 박막의 고품질 증착을 초래합니다. 이 시스템에는 내부 모니터링 (in-situ monitoring) 및 데이터 로깅 (data logging) 기능이 있어 기판 온도, 챔버 압력 및 바이어스 전압을 조정하여 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구는 또한 사용자 친화적이며, 다양한 재료와 프로세스를 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 2460 HEDA는 최고의 환경 표준을 충족하고 에너지 사용량을 줄이도록 설계되었습니다. UL, CSA, CE 등 주요 환경 인증 기관의 요구 사항을 충족하는 테스트를 거쳤습니다. 이 자산에는 전원 장애 또는 장애 발생 시 자동 종료 (automatic-off) 와 같은 고급 안전 (safety) 기능도 탑재되어 있습니다. 전반적으로 COMPTECH 2460 HEDA는 우수한 성능과 예금 품질을 제공하는 고급 스퍼터링 모델입니다. 이 제품은 다양한 애플리케이션에 적합하며, 정교한 프로세스 제어 및 모니터링 시스템을 통해 높은 정확도의 박막 (Thin Film) 증착 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장비는 높은 정밀도를 원하는 사용자에게 이상적이며, 효율적이고 에너지 절감 효과를 제공합니다.