판매용 중고 MAGNETRON SHS-2M-3-400TL #9221750

MAGNETRON SHS-2M-3-400TL은 다양한 물리적 증기 증착 (PVD) 응용을 위해 설계된 MAGNETRON 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 2 단계 MAGNETRON, 3 위치 회전 대상 및 400mm 직경 평면 대상으로 구성됩니다. MAGNETRON은 1 차 단계와 2 차 단계로 구성된 2 단계 디자인입니다. 1 차 단계는 외부에서 냉각되고 자기 차폐 된 고출력 DC 방전 MAGNETRON으로 구성됩니다. 이 유형의 MAGNETRON은 금속 합금, 산화물과 같은 박막 재료의 스퍼터링 증착에 가장 적합합니다. 2 차, 양극이없는 파인 피치 MAGNETRON은 작은 목표 영역의 에칭 또는 스퍼터링을 제어하는 데 사용됩니다. 대상을 지원하기 위해 고출력 RF 소스와 평면 플랜지가 있습니다. 3 위치 회전 대상은 다중 레이어 스퍼터링 및 코팅을 수행하는 데 사용됩니다. 스퍼터링 유닛은 특허를받은 하이브리드 스퍼터링 (hybrid sputtering) 방법을 사용하여 우수한 증착률과 균일성을 달성합니다. 400mm 직경 평면 대상은 더 큰 면적 증착에 사용됩니다. 금속 합금, 산화물, 질화물, 탄화물 등 다양한 물질을 침전시킬 수 있습니다. SHS-2M-3-400TL 스퍼터링 머신은 독립 제어 인터페이스를 특징으로하며, 사용자가 스퍼터링 프로세스의 모든 매개변수를 제어할 수 있습니다. 이 도구에는 목표의 쉽고 인체 공학적 위치를위한 전기 붐 (electric boom) 도 포함되어 있습니다. 이 자산은 스퍼터링 (sputtering) 과정의 오염을 방지하고 증착 효율을 최대화하기 위해 밀폐 된 챔버로 둘러싸여 있습니다. 또한, 이 모델에는 안전하고 안전한 작동을 보장하기 위해 연동 안전 장비가 내장되어 있습니다. MAGNETRON SHS-2M-3-400TL은 태양 광 세포, LED 조명, 공구 코팅 및 기타 고급 코팅을 포함한 다양한 PVD 응용 분야에 적합합니다. 이 시스템은 정밀도, 높은 증착율, 뛰어난 균일성을 갖춘 우수한 필름 특성을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 기술은 일관성 있고, 고품질 코팅과 뛰어난 투자 수익률을 보장합니다.