판매용 중고 LEYBOLD Web 750sp #9030297
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ID: 9030297
PV sputter web coating system
Coating speed up to 3 m/min for solar cell transparent front contact coating
Coating width of 500 mm (can be extended up to 1500 mm)
Dry vacuum pumping system with high water vapor pumping speed
Integrated on-line process control
Deposition speed: max line speed is limited to 1 m/min
Web width: limited to 600 mm wide web with an effective coating width of 550 mm.
LEYBOLD 웹 750sp (LEYBOLD Web 750sp) 는 광범위한 스퍼터 응용 프로그램을 용이하게하도록 설계된 아트 스퍼터 증착 장비의 상태입니다. 그것은 순수한 금속에서 복잡한, 다 성분 합금 또는 산화물에 이르는 독특한 박막 증착을 생성하는 초박막 스퍼터 증착 모듈을 포함합니다. 웹 750sp는 12 x 8 인치 (12 x 8 인치) 의 활성 스퍼터링 영역을 갖추고 있으며, 최대 영역 범위는 더 큰 기판을 스퍼터링할 수 있습니다. 또한 최적의 성능을 제공하는 펄스 DC 마그네트론 (Pulsed DC Magnetron) 기술과 뛰어난 균일 성, 접착 및 구성 반복성으로 박막 구조를 증착하는 기능을 사용합니다. LEYBOLD Web 750sp에는 증착 과정을 모니터링하는 데 도움이되는 통합 컴퓨터 제어 및 시각 형상 시스템이 포함되어 있습니다. 이 단위는 사용자 정의 매개변수를 사용하여 자동화된 접근 방식을 제공하여, 쉽고 효율적인 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 웹 750sp (Web 750sp) 에는 유연한 모듈 머신이 포함되어 있어 사용자 애플리케이션 요구에 따라 도구를 사용자 정의할 수 있습니다. LEYBOLD Web 750sp는 높은 순도 가스 분포를 갖추고 있으며, 스퍼터링 전과 스퍼터링 프로세스 동안 챔버를 최적으로 제거 할 수 있으며, Ar ~ O2 및 N2 범위의 광범위한 프로세스 가스를 제공합니다. 이 자산은 기판 스퍼터링을위한 다양한 석영 및 세라믹 목표를 제공하며, 증착 모델을 펌핑하기위한 오일 확산 펌프가있는 4 개의 터보 분자 펌프 (turbo-molecular pump) 를 포함합니다. 웹 750sp (Web 750sp) 는 간단한 작업을 위한 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하며, 다른 기판 재료를 쉽게 전환할 수 있는 기능을 제공합니다. 이 장비에는 또한 특허를 받은 고유한 Safe-Start System (안전 시작 시스템) 이 포함되어 있어 스퍼터 프로세스 사고의 위험을 줄일 수 있습니다. 또한, 이온 폭격 및 스퍼터 클리닝 기능을위한 다양한 이온 소스를 제공합니다. 전반적으로 LEYBOLD Web 750sp (웹 750sp) 는 다양한 어플리케이션에서 고품질의 박막 증착을 제공할 수있는 탁월한 스퍼터링 장치입니다. 고급 가스 분포 및 Safe-Start Tool과 결합된 직관적인 제어 머신 (Control Machine) 은 스퍼터링 프로세스에 적합한 선택입니다.
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