판매용 중고 LEYBOLD Star 1000 #293775767

LEYBOLD Star 1000은 반도체 제조, 광학 코팅 (optical coating), 재료 연구 등 다양한 응용 분야에서 박막 증착을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 고급 시스템은 최첨단 기술을 통합하여 필름 두께 (film thickness), 구성 (composition) 및 균일성 (uniformity) 을 정확하게 제어하여 까다로운 박막 증착 프로세스를 위한 이상적인 선택입니다. 주요 특징: 1. 다중 타겟 구성 (Multiple Target Configuration): Star 1000은 다용도 다중 대상 구성을 제공하여 여러 재료의 스퍼터링을 동시에 수행할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 반사도가 높거나 방출률이 낮은 광학 코팅 (optical coating) 과 같은 맞춤형 특성을 갖는 복잡한 다중 계층 필름 (multilayer film) 을 증착할 수 있습니다. 2. 마그네트론 스퍼터링 (Magnetron Sputtering): 이 장치는 마그네트론 스퍼터링 기술을 사용하여 스퍼터링 효율성을 향상시키고 기존의 DC 스퍼터링에 비해 낮은 압력에서 증착을 가능하게합니다. 마그네트론 소스는 높은 이온화 속도를 제공하여 필름 접착 및 밀도를 향상시킵니다. 3. 기판 난방 및 냉각: LEYBOLD Star 1000에는 필름 성장 조건을 최적화하기 위해 정확한 기판 난방 및 냉각 메커니즘이 장착되어 있습니다. 기질 온도 조절은 특정 특성 (예: 결정 성 제어 또는 응력 관리) 을 갖는 필름의 증착을 허용한다. 4. 플라즈마 에칭 기능 (Plasma Etching Capability): 박막 증착 외에도, 기계는 표면 청소 및 준비를위한 플라즈마 에칭 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 플라즈마 에칭 (plasma etching) 기능은 증착 전에 기질 표면에서 오염 물질 또는 고유 산화물을 제거하여 고품질 필름 성장을 보장한다. 5. 프로세스 제어 및 자동화 (Process Control and Automation): 스퍼터링 도구에는 증착률, 압력, 전력 등 주요 매개변수의 실시간 모니터링을 비롯한 고급 프로세스 제어 기능이 장착되어 있습니다. 자동화 기능을 통해 증착 프로세스를 정확하게 제어하여 필름 특성 (film properties) 의 재현성과 일관성을 보장합니다. 6. Enhanced Vacuum Asset: Star 1000에는 스퍼터링 프로세스에 필요한 기본 압력을 달성하기 위해 고성능 진공 모델이 장착되어 있습니다. 강력한 진공 펌프 및 통합 공정 챔버 (process chamber) 설계는 깨끗하고 오염이 적은 환경에서 효율적인 가스 대피 및 증착을 보장합니다. 7. 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface): 편리한 운영 및 모니터링을 위한 종합적인 소프트웨어 제어 기능을 갖춘 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 그래픽 인터페이스 (Graphical interface) 는 프로세스 매개변수에 대한 시각적 피드백을 제공하며 사용자 정의 배치 레시피 (deposition recipe) 설정을 허용합니다. 8. 안전 기능: LEYBOLD Star 1000은 운영자 보호 및 시스템 무결성을 보장하기 위해 여러 안전 기능을 통합합니다. 이러한 기능에는 진공 및 전원 공급 장치 보호용 인터 록 (interlock), 비상 정지 메커니즘 및 장치 상태 모니터링을위한 내장 진단 (BIST) 이 포함됩니다. 전반적으로 Star 1000 스퍼터링 머신은 정확한 박막 증착, 플라즈마 에칭 및 프로세스 최적화를 위해 다용도 플랫폼을 제공합니다. 이 도구는 첨단 기능 (advanced features) 과 기능을 갖춘 고성능 박막 코팅 (Thin Film Coating) 을 필요로 하는 다양한 리서치 및 산업 응용프로그램에 적합합니다.