판매용 중고 LEYBOLD OPTICS Pegasus #9299848

LEYBOLD OPTICS Pegasus는 고품질 박막 코팅을 생산하도록 설계된 강력한 최첨단 스퍼터 증착 장비입니다. 시험되고 입증 된 Leybold 진공 기술을 기반으로하며 백킹 펌프, GD2004/QD 디지털 컨트롤러, 잘 설계된 하중 잠금 장치 및 2 개의 다른 마그네트론 스퍼터 소스를 갖춘 터보 분자 펌프로 구성됩니다. 또한, 이 시스템은 정확하고 안정적인 기판 위치 및 로드 잠금 온도 제어, 현장 소스 온도 및 스테이지 매개변수 최적화 (stage parameter optimization) 를 특징으로합니다. 이를 통해 최소한의 에너지 입력 및 항복 최적화가 가능합니다. 장치의 주요 원자로에는 스테인리스 스틸 챔버 쉴드가 장착되어 있습니다. 직원, 부품 및 코팅에 대한 최대 보호 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 전체 챔버에는 추가 보호를 위해 빠른 개방 및 재 닫기 안전 도어도 포함되어 있습니다. Leybold Pegasus는 DC 및 펄스 전력 수준에서 작동하는 Dual Magnetron 소스와 고밀도 이온 폭격을위한 ECRN 이온 소스를 사용합니다. 최대 6E-2 Torr의 압력으로 작동하며 소스 대 기판 거리는 최대 60mm, 최대 16 인치 챔버 오프닝이 있습니다. 또한, 기판 크기는 2 ~ 15 인치이며, 스퍼터 전력은 최대 3kW입니다. 이 기계는 수동으로 작동하는 샘플 홀더로 기능하며, 금속, 유전체, 산화물, 폴리머 및 합금과 같은 전도성 및 비 전도성 재료의 증착을 허용합니다. 또한 강착 중 온도 조절을위한 내장 기판 냉각 도구 (Substrate Cooling Tools) 가 내장되어 있으며, 최대 8 유속/분까지 강착 할 수 있습니다. 또한 Leybold LEYBOLD OPTICS Pegasus에는 사용자 친화적 인 그래픽 사용자 인터페이스, 프로세스 모니터링 자산 및 정확한 코팅 두께 제어를 보장하는 온도 모니터가 포함됩니다. 이 모든 기능은 정확하고 반복 가능한 결과에 기여하며, 평면 패널 디스플레이 개발, 광학 필름 증착, 삼각 코팅, 의료 부품 및 기기 제작과 같은 많은 산업 응용 분야에 이상적인 도구입니다.