판매용 중고 LEYBOLD HERAEUS Z700 #65623
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ID: 65623
Automatic sputtering system
Z700 stainless steel process chamber (ca. 710mm height x 710mm dia) on a coated mild steel frame
Chamber fitted with various flanges and ports
2 pair (4) PK 500 sputter cathodes with teflon isolators, magnets and 1 atmospheric boxes for inner cathodes
Inner chamber shielding kit
Substrate rotation stage incl. feed through, drive and drive gear
Sample/substrate stage will be supplied according to customer specification
V1, V2, V3 and V4 valves (chamber, rough vacuum, bypass and venting)
(3) MFC with shut off valves
Water distribution manifold with 6 lines
Each line has a pneumatically operated shut off valve in supply and flow monitor in the returns fitted.
Option 1:
Vacuum measurement system (1 no. rough vacuum and 1 no. high vacuum gauge, 1 no. MKS Baratron process gauge)
Option 2:
(4) heaters, 1.1 kW each (2 no. inside substrate carrier stage, 2 no. outside the stage)
Option 3:
(1) Leybold DK200 rotary vane rough vacuum pump
(1) Leybold RUVAC 501 booster pump
(3) Leybold TMP1000c turbo pumps with NT1000/1500 controllers
(1) stainless steel buffer box for mounting of (3) TMP1000c turbo pumps
Vacuum measurement system (1) rough vacuum and (1) high vacuum gauge, (1) MKS Baratron process gauge)
Option 4:
DC Power supplies (4) 6kW DC power supplies for DC sputtering.
LEYBOLD HERAEUS Z700은 표면에 박막 재료를 증착하도록 설계된 스퍼터 장비입니다. 반전 및 전기 크로믹 코팅, 반도체 캡슐화, DBR (Distributed Bragg Reflector) 레이어와 같은 응용을위한 정확하고 균일 한 코팅을 생산하는 고급적이고 유연한 스퍼터 시스템입니다. 이 장치는 신뢰성 있고 심층적인 박막 증착 (Thin film deposition) 프로세스에 이상적인 선택이 가능한 몇 가지 장점을 제공합니다. Z700의 첫 번째 장점은 광범위한 프로세싱 유연성입니다. 이 시스템은 다양한 프로세스 (process) 및 챔버 (chamber) 구성을 갖추고 있어 고유한 구성을 빠르고 쉽게 액세스할 수 있습니다. LEYBOLD HERAEUS Z700의 챔버 볼륨은 200 리터이며, 한 번에 최대 8 개의 타겟으로 작동 할 수 있으므로 다중 계층 증착이 가능합니다. 또한 인시 투 (in-situ) 프로세스를위한 효율적인 가스 주입 도구와 매우 깨끗하고 높은 정확도 결과를 제공하는 초고진공 (UHV) 탱크가 있습니다. 또한 Z700 은 스퍼터링 프로세스를 완전히 사용자 정의하기 위해 자동화된 멀티 스텝 레시피 (multi-step 레시피) 를 갖춘 고급 제어 자산을 보유하고 있습니다. LEYBOLD HERAEUS Z700의 두 번째 주요 장점은 뛰어난 생산성입니다. 이 모델은 기존 스퍼터 시스템보다 10 배 높은 증착 속도를 제공하며, 레이어 증착 속도는 최대 465 nm/minute입니다. 이것은 고품질 박막의 대량 생산에 적합합니다. 이 장비에는 자동화된, 프로그래밍 가능한, 디지털 현미경이 포함되어 있어, 사용자는 기탁된 필름의 품질을 빠르고 쉽게 검사할 수 있습니다. Z700의 세 번째 장점은 안정적인 성능입니다. 이 시스템에는 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 분석하고 필요한 경우 자동으로 장치를 종료할 수 있는 고급 장애 감지 (advanced fault detection) 기술이 탑재되어 있습니다. 또한, LEYBOLD HERAEUS Z700은 최적 온도 안정성을 보장하고 스퍼터 목표물에 대한 열 손상 위험을 줄이는 고급 냉각 머신 (Advanced Cooling Machine) 으로 설계되었습니다. 또한, 이 도구에는 프로세스 매개변수 및 성능에 대한 실시간 피드백을 위한 전자 피드백 (electronic feedback) 자산이 있습니다. 전반적으로 Z700 (Z700) 은 다양한 박막 재료의 증착을 위해 설계된 고급, 고효율, 안정적인 스퍼터 모델입니다. 광범위한 프로세싱 유연성, 뛰어난 생산성, 안정적인 성능을 갖춘 LEYBOLD HERAEUS Z700은 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 박막 증착 프로세스에 이상적인 선택입니다.
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