판매용 중고 LEYBOLD HERAEUS Z650 #32461

LEYBOLD HERAEUS Z650은 다양한 기판 표면에 얇은 층의 재료를 증착하도록 설계된 고급 멀티 소스 스퍼터 코터입니다. 의료 기기 의료 진단 부품, 평면 패널 디스플레이, 반도체 포장, 태양광 재료 등 다양한 응용 분야에 사용됩니다. LEYBOLD HERAEUS Z 650 스퍼터 장비는 두 가지 주요 부품 (전원 공급 장치와 스퍼터 장치) 으로 구성됩니다. 전원 공급 장치에는 3 개의 개별 채널이 포함되어 있으며 최대 5 개의 독립 스퍼터 소스를 처리 할 수 있습니다. 각 소스의 전압, 전류, 전원 수준을 모니터링하기 위한 디지털 디스플레이가 장착되어 있습니다. 전류는 스퍼터 아크를 따라 259 개의 포지턴에서 모니터링되어 최적의 스퍼터링 프로세스를 보장합니다. 스퍼터 장치 (sputter unit) 는 회전식 척 (rotatable chuck) 으로 구성되며, 그림자가없는 스퍼터 증착과 기판의 정상 스퍼터링에 모두 사용될 수 있습니다. 스퍼터 타깃은 부동 대상 홀더 (floating target holder) 에 보관되며 가변 기울기 각도는 최대 10도입니다. 이 홀더는 X 방향 및 Y 방향으로 이동하여 전체 스퍼터 대상을 균일 하게 적용 할 수 있습니다. 스퍼터 챔버는 1mbar ~ 13mbar 범위의 다양한 배경 압력 조건에서 작동 할 수 있습니다. Z650 시스템은 다양한 소스 기능과 다양한 타겟을 통해 이점을 얻을 수 있습니다. 알루미늄, 구리, 몰리브덴, 텅스텐, 크롬과 같은 다양한 금속, 반도체 및 그 유도체를 코팅 할 수 있습니다. 모듈식 설계를 통해 여러 가지 스퍼터링 (sputtering) 구성을 동시에 구성할 수 있으며, 생산성 향상, 프로세스 다양성 향상 등 다양한 이점을 누릴 수 있습니다. Z 650 스퍼터 유닛은 정확하고 반복 가능한 프로세스 결과를 위해 고급 컨트롤을 제공합니다. 통합 데이터 로거 (Data Logger) 는 실시간 프로세스 정보를 제공하며, 이를 통해 데이터를 더 분석하기 위해 USB 드라이브에 전송 및 저장할 수 있습니다. 이 기계에는 오일 프리 백킹이있는 VacPit 올인원 진공 펌프 옵션도 포함되어 있습니다. LEYBOLD HERAEUS Z650 스퍼터 도구 (sputter tool) 는 다양한 기판 표면에 얇은 층을 증착시키는 고급 기능과 정확한 제어를 제공합니다. 모듈식 설계 (Modular Design) 는 사용 측면에서 유연성을 제공하며, 여러 소스 기능을 통해 생산성이 향상됩니다. 데이터 로거 (Data Logger) 는 실시간 데이터를 제공하며 더 깨끗한 환경을 위해 통합 VacPit 진공 펌프로 보완됩니다.