판매용 중고 LEYBOLD HERAEUS Z650 #27258

LEYBOLD HERAEUS Z650은 박막 증착에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 이 "시스템 '은 매우 다양 하며, 산화물, 질화물, 금속 등 여러 가지 물질 에 사용 될 수 있다. 이 장치는 매우 높은 진공 챔버, 마그네트론 음극 및 EVPC (Embedded Vacuum Process Controller) 로 구성됩니다. 이 기계는 스퍼터링을 위해 최대 2 개의 타겟을 수용 할 수 있으며, DC 및 펄스 DC 스퍼터링에 모두 사용할 수 있습니다. LEYBOLD HERAEUS Z 650에는 프로세스 안정성, 반복 가능성 및 정밀도를 보장하는 다양한 기능이 있습니다. 이러한 기능에는 5.7 인치 스크린 및 터치 패드 사용자 인터페이스가있는 마이크로 프로세서 기반 EVPC (Embedded Vacuum Process Controller); 포어 펌프 장치가있는 3 중 터보 분자 펌핑 스테이션; 냉각기가 내장 된 폐쇄 사이클 냉각 도구; 반복 가능한 스퍼터링 결과를 보장하는 자동 위치 에셋. Z650 은 인상적인 수의 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 제공하며, 이를 통해 사용자는 지정된 요구 사항에 맞게 모델을 사용자 정의할 수 있습니다. 반복 가능하고 정확한 결과를 얻기 위해 장비는 정확한 흐름 제어 시스템, 조절 가능한 고전압, 정밀 압력 트랜스듀서 장치 (pressure transducer unit) 및 정확한 목표 배치를 제공합니다. 이 기계는 또한 목표물에 고온 합금 (high temperature alloys) 을 사용할 수 있으며, 가장 도전적인 필름을 증착 할 수 있습니다. Z 650 은 플라즈마 모니터, 스틱 방지 장치, 고주파 스퍼터링 모니터 등 다양한 추가 기능을 제공합니다. 이 도구는 또한 정확한 증착 모니터 (deposition monitor) 를 특징으로하여 필름의 정확하고 일관된 증착을 보장합니다. 스틱 방지 장치 (Anti-stick device) 를 사용하면 필름을 쉽게 서피스를 청소하기 어렵게 제거할 수 있습니다. 고주파 스퍼터링 모니터는 필름의 철저하고 균일 한 증착을 보장합니다. LEYBOLD HERAEUS Z650은 다양하고 정확한 스퍼터링 자산으로, 다양한 재료의 영화를 기탁 할 수 있습니다. 클로즈드 루프 냉각 모델 (closed loop cooling model), 정확한 목표 배치, 고주파 스퍼터링 모니터, 플라즈마 모니터 (Plasma Monitor) 등 다양한 기능을 갖춘 장비는 프로세스 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 정확하고 안정적인 스퍼터링 프로세스가 필요한 제조업체에 적합합니다.