판매용 중고 LEYBOLD HERAEUS Z550SS #9105299

LEYBOLD HERAEUS Z550SS는 dc/RF 이중 마그네트론 기반 물리 증발 (PVD) 스퍼터링 장비입니다. 이 "마그네트론 '은" 스퍼터링' 공정 을 위해 두 개 의 "마그네트론 '원 을 이용 하여" 박막' 을 기판 에 증착 시켜서 "프로파일 '모양 과 균일성 을 정밀 하게 제어 하는 뛰어난 등각 코팅 을 한다. 스퍼터링 시스템은 4 개의 공정 챔버로 구성됩니다. 6 "× 6" × 8 "(152mm × 152mm × 203mm) 창 크기가있는 대형 공정 챔버와 최적의 공정 수율 및 최소 교차 오염을 위해 특별히 설계된 3 개의 훨씬 작은 챔버. 공정 챔버 (process chamber) 에는 가스 콘센트 (gas outlet) 연결이 있어 공정 가스가 외부 소스에서 직접 공급됩니다. 이 장치는 공정 챔버 (process chamber) 와 내부 클리닝 (in-situ cleaning) 모두에 독립적 인 가스 공급 시스템을 사용하여 일관된 결과를 산출하는 프로세스 매개변수를 효율적으로 제어합니다. Z550SS 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 은 효율적인 스퍼터링을 위해 수명이 길고 가스 압력이 높은 고출력 이온 소스를 특징으로합니다. 또한 고급 디지털 RF 전원 제어 (Advanced Digital RF Power Control) 를 사용하여 증착율, 최대 이온 전류 및 프로파일 커버리지의 균일성을 정확하게 제어합니다. 이 도구에는 데이터 처리 에셋 (data processing asset) 이 장착되어 있어 배치 프로세스를 심층적으로 분석할 수 있으며, 사용자가 배치 매개변수를 최적화할 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 최적의 기판 온도에서 효율적인 강착을위한 자동 온도 조절 장비가 포함되어 있습니다. LEYBOLD HERAEUS Z550SS 스퍼터링 시스템은 직관적인 소프트웨어, 프로그래밍 가능한 자동 제어판, 빠른 시각적 참조를 위한 선명한 LED 표시등을 통해 쉽게 작동할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 다른 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 과의 호환성을 위해 설계되었으며, 사용자는 장치의 제조 또는 모델에 관계없이 정보를 교환할 수 있습니다. 강력한 기능과 다양한 소프트웨어를 갖춘 Z550SS는 프로파일 모양과 균일성 (unifority) 을 정확하게 제어하여 박막 (thin film) 을 효율적으로 배치하는 이상적인 스퍼터링 머신입니다.