판매용 중고 LEYBOLD HERAEUS Z550SM #9235453

LEYBOLD HERAEUS Z550SM은 생산 및 연구 응용 프로그램을 위해 설계된 강력하고 다양한 스퍼터링 장비입니다. 다른 재료 의 얇은 층 을 "기판 '에 배치 하는 데 사용 할 수 있다. 이 시스템은 스퍼터 음극 (sputter cathode), 진공실, 전원 공급 장치 및 다양한 고급 기능으로 구성됩니다. Z550SM은 마그네트론 (magnetron) 과 이온 빔 (ion beam) 스퍼터 증착 공정을 사용하여 기판에 다른 물질을 스퍼터링 할 수 있습니다. 스퍼터 소스는 고출력 다중 위치 원형 마그네트론으로, 순수한 금속, 합금 및 세라믹을 스퍼터링하는 데 사용할 수 있습니다. 이온 소스에는 고해상도 구조의 증착을위한 다중 발산 빔 프로파일이 있습니다. 전원 공급 장치는 스퍼터링 (Sputtering) 프로세스에 최대 24kW의 전력을 공급할 수 있으며, 증착 속도를 조정하기 위한 조절 가능한 주파수 제어 장치 (Frequency Control Unit) 를 갖추고 있습니다. LEYBOLD HERAEUS Z550SM의 진공실은 작동 압력 범위가 2 x 10-8 mbar ~ 5 x 10-2 mbar 인 고진공 기계입니다. 이 도구는 제거 밸브로 밀봉되며 Bayard-Alpert 이온화 게이지를 사용합니다. 또한 Z550SM 에는 기판 의 위치 와 기울기 를 조정 하는 데 사용 할 수 있는 "리프팅 '" 플랫폼' 이 있다. 스퍼터링 에셋은 자동 프로세스 제어 (process control) 및 종단점 감지 기능을 제공하여 안정적이고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 전체 모델을 쉽게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 미리 정의된 레시피 편집기 (Pre-Defined Recipe Editor) 는 서로 다른 스퍼터링 프로세스에 대한 모든 관련 매개변수를 저장하며, 사용자는 자신의 레시피를 만들고 저장할 수 있습니다. 이 장비에는 우발적 인 작동과 장치 과부하를 방지하기 위한 여러 가지 안전 기능 (Safety Function) 도 포함되어 있습니다. 전반적으로 LEYBOLD HERAEUS Z550SM은 강력하고 다양한 스퍼터링 시스템으로, 고급 기능을 통해 정확한 제어 및 안정적인 결과를 제공합니다. 이 장치는 생산 및 연구 응용 프로그램 (production and research application) 모두에 적합하며, 다른 재료의 얇은 층을 기판에 배치하는 데 이상적입니다.