판매용 중고 LEYBOLD HERAEUS Z550S #9192875

LEYBOLD HERAEUS Z550S는 광범위한 스퍼터링 대상을 사용하여 물리적 증기 증착 (PVD) 을 수행하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 그것은 음극 호 증착 (아크 PVD) 을 사용하여 두께가 다양한 고순도 금속 및 비금속 재료의 박막을 증착합니다. 또한 단일 레이어 및 다중 레이어 코팅을 제작하는 데 사용할 수 있습니다. Z550S 스퍼터링 시스템은 반도체 등급 디스플레이, 광학 코팅 (optical coating) 과 같은 고급 연구 및 산업 응용 분야에 사용하도록 설계되었습니다. LEYBOLD HERAEUS Z550S는 필름 정렬 및 레이어 적합성을 용이하게하기 위해 각도가 조정 가능한 4 개의 대상 포탑을 갖추고 있습니다. 스퍼터 챔버는 직경이 6 "(152mm) 이고 길이가 18" (457mm) 이며, 더 큰 영역 기판을 스퍼터링하기위한 큰 챔버 부피를 제공합니다. Z550S는 직경이 최대 8 "(203mm) 이고 두께가 최대 4" (102mm) 인 기판을 수용 할 수 있습니다. 통합 냉각 재킷은 목표 및 기판 가열을 최소화하는 데 도움이됩니다. LEYBOLD HERAEUS Z550S 스퍼터링 장치는 고성능 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 이온 소스를 특징으로합니다. 이 이온 소스는 기존의 RF 이온 소스 (RF-PVD) 보다 표적과 기판에 걸쳐 훨씬 더 균일하고 균질 한 이온 폭격을 제공합니다. ECR 이온 소스 (ECR ion source) 는 큰 기판 영역에 비해 증착률이 우수하며, 전도성이 아닌 재료, 느린 침식 목표와 같은 모든 종류의 특수 목표에 적합합니다. Z550S 스퍼터링 머신에는 고급 프로세스 제어 소프트웨어 (Advanced Process Control Software) 가 장착되어 있어 예금 절차를 쉽게 프로그래밍하고 예금 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. 또한 사용자는 프로세스 데이터베이스를 생성할 수 있습니다. 즉, 기존 코팅 프로세스와 복잡한 코팅 프로세스의 매개변수를 저장하고 로드할 수 있습니다. 사용자는 LEYBOLD HERAEUS Z550S의 컴퓨터 인터페이스를 통해 기판 온도를 모니터링하고 제어 할 수 있습니다. Z550S 스퍼터링 도구 (Sputtering Tool) 는 손쉽게 유지 보수할 수 있도록 설계되었으며, 구성 요소는 내구성과 안정성을 극대화하기 위해 고품질 재료로 제작되었습니다. 플래시 드라이브 (Flash Drive) 를 통해 소프트웨어를 쉽게 업데이트할 수 있으며, 자산 또한 원격 진단/문제 해결 서비스를 통해 다운타임을 최소화할 수 있습니다. 결과적으로 LEYBOLD HERAEUS Z550S는 연구 및 산업 응용을위한 안정적이고, 저렴하며, 사용하기 쉬운 스퍼터링 모델입니다.