판매용 중고 LEYBOLD HERAEUS Z550MS #31347
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ID: 31347
빈티지: 1987
Sputtering system
Load lock system
Mechanical component:
Frame with liner
Vacuum chamber with sight glass
Chamber lid with bores for mounting cathodes
High vacuum valve NW 150 with throttle position
Electrical component:
Rack cabinet, 19"
Switchboard including fuses and connections
Pumping system with turbo molecular pump and vacuum gauge control
Vacuum gauge controller
IM 110 D Ionization vacuum gauge
D40B Rotary vane pump:
(2) Stages
Pumping speed 40 m³/h
Flow control:
(2) Gases complete with sensor
Control valve
Control rack
Digital indication
Backing plate
Substrate load lock:
Load lock including high vacuum valve
Electro pneumatically operated
Load lock
Pumping system
Vacuum gauge controller
DC Sputtering equipment:
DC Power supply type: SSV 3.5
Power: 3.5 kW
Maximum voltage: 600 V
Cathode selector switch
(4) High rate cathodes PK 150:
Complete with magnets and insulators without target material
Substrate carrier:
Made of Aluminium, insulated for RF bias and RF etching
Infrared heating station
Shutter
Special aperture diaphragms
Sputtering timer
(4) Targets:
1st Target: Pt
2nd Target: Pd
3rd target: NiCr
RF Equipment:
RF Generator: RF Sputtering / RF Etching IS 2.5
Process switch
RF Etching and RF Bias in process module
Control system upgraded
Manuals
1987 vintage.
LEYBOLD HERAEUS Z550MS는 표면에서 박막 코팅을 생산하는 데 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 매우 효율적이고 비용 효율적인 시스템으로, 얇은 필름 (thin film) 을 금속 (metal) 과 중합체 (polymer) 를 포함한 다양한 기판에 적용 할 수 있습니다. Z550MS는 강력한 4kW 전원 및 사용이 간편한 디지털 컨트롤을 통해 빠르고 정확하게 조정할 수 있습니다. 기본 제공 된 압력 제어 장치 (pressure control unit) 는 챔버 압력을 정확하게 제어하고 최적의 프로세스 결과를 허용합니다. 이 기계는 또한 다중 소스 기능을 갖추고 있으며, 서로 다른 재료를 동시에 스퍼터링할 수 있습니다. LEYBOLD HERAEUS Z550MS의 스퍼터링 목표는 두껍고 고성능 탄소 및 알루미늄 합금 재료로 만들어집니다. 포함 된 2 구역 타겟은 더 나은 전력 분배로 균일 한 코팅을 만들 수 있습니다. 또한 스퍼터 속도를 높이고 오프 타겟 스퍼터링을 줄이는 데 도움이됩니다. 2 구역 목표 디자인은 또한 여러 다른 재료를 스퍼터팅 할 때 로딩 시간을 줄이고 필름의 균일 성을 향상시키는 데 도움이됩니다. Z550MS는 스퍼터 속도를 높이고, 프로세스 균일성을 향상시키고, 전반적인 코팅 시간을 줄이는 혁신적인 고속 스퍼터링 기술을 사용합니다. 강력한 빔 냉각 도구 (beam cooling tool) 는 소스 간 침식을 줄이고 증착 조건을 확대합니다. LEYBOLD HERAEUS Z550MS의 스퍼터 헤드 (Sputter head) 는 고정밀 스퍼터링 작업을 위해 설계되었으며 넓은 지역에 대한 정확한 증착 속도를 위해 조절 가능한 틸트 센서를 갖추고 있습니다. 또한 원격 모니터링과 직관적인 LCD 터치 스크린 (디지털 컨트롤 포함) 을 통해 레이어간 정확한 제어 및 모니터링이 가능합니다. 자산은 금속, 산화물, 질화물 및 세라믹 표적을 스퍼터링 할 수 있습니다. Z550MS의 모듈식 설계를 통해 손쉽게 청소, 유지 관리 및 업그레이드 작업을 수행할 수 있습니다. 손쉬운 로드 타겟 안전 (load target safety) 모델과 함께, 챔버에서 벗어날 때 자동으로 타겟을 잠그고, 설정에 안전성과 편의성을 더합니다. LEYBOLD HERAEUS Z550MS (In-Situ 기판 난방 장비) 및 내장 헬륨 누출 탐지기가 포함되어 있어 성능을 높이고 최고의 박막 품질을 보장합니다. 결론적으로, Z550MS는 강력하고 효율적인 스퍼터링 시스템으로, 다양한 기판에서 고품질의 박막 (thin film) 을 생성하는 기능을 제공합니다. 신뢰할 수 있는 구성 요소, 사용자 친화적 설계 (user-friendly design), 다중 기능을 통해 스퍼터링 어플리케이션을 위한 경제적이고 효율적인 솔루션을 원하는 모든 사람에게 적합한 솔루션입니다.
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