판매용 중고 LEYBOLD HERAEUS Z550 #9237887

LEYBOLD HERAEUS Z550 스퍼터링 장비는 서로 다른 표면에 균일한 두께의 필름을 제작하기 위해 설계된 고정밀 에칭 도구입니다. 표면 의 정확도 가 뛰어나며, 극히 정밀 한 필름 두께 의 수준 을 달성 하여, "멤즈 ', 태양 전지, 반도체 장치," 커패시터', 광전자 장치 등 매우 다양 한 박막 "시스템 '을 만들 수 있다. LEYBOLD HERAEUS Z 550은 고유 한 LEYBOLD HERAEUS OpenArc 돔 스퍼터링 헤드를 사용하여 전체 표면적에 대해 균일하고 일관된 프로세스를 제공합니다. 이 시스템은 가변 공정 압력 기능을 제공하여, 조절 가능한 가스 흐름 (gas flow) 과 고효율 2 차 이온화 소스로 최대 10 ~ 4 mbar 공정 압력을 허용합니다. 다결정, 비정질 및 나노 결정질과 같은 다양한 필름 형태를 생성 할 수 있습니다. HERAEUS Z550 (HERAEUS Z550) 은 고급 광학 피로미터로 프로세스 매개 변수를 모니터링하고 조정하는 기능으로 더욱 향상되었습니다. 이 기능은 자동 온도 제어를 제공하여 균일하고 정확한 증착 및 등각 필름 프로세스를 보장합니다. Allen Bradley 자동화를 통해 사용자는 다양한 프로세스에 대한 장치를 빠르게 프로그래밍할 수 있으며 Windows 기반 소프트웨어를 사용하면 대상 조리개, 돔 회전, 가스 흐름, 압력 등 구성 요소를 쉽게 설정할 수 있습니다. Z550은 또한 추가 안전을 위해 내장 과압 기계로 설계되었습니다. 이 도구는 고속 증착을 위해 HV 전원 공급 장치가 장착 된 저전압 DC 마그네트론으로 구동됩니다. 에셋에는 부하 잠금 챔버, 로봇 웨이퍼 처리 시스템, 온도 센서 및 추가 안전을위한 고압 밸브도 포함됩니다. LEYBOLD HERAEUS HERAEUS Z550은 낮은 오염 생산 환경을 위해 설계되었으며 HEPA 필터 클리닝 모델도 갖추고 있습니다. Z 550 스퍼터링 장비는 현대적인 고정밀 필름 제작을위한 강력하고 다양한 도구입니다. 이 시스템은 전자, 의료, 광전자, 나노 기술 및 항공 우주 산업에서 까다로운 응용 분야에 이상적입니다. 최첨단 기술을 활용하는 LEYBOLD HERAEUS Z550은 다양한 어플리케이션을 위해 안정적이고 정확한 필름 증착을 제공하도록 설계되었습니다.