판매용 중고 LEYBOLD HERAEUS Z550 #131001

LEYBOLD HERAEUS Z550 스퍼터링 장비는 박막의 진공 증착을위한 고성능, 저렴한 도구입니다. 그것 은 여러 가지 크기 와 모양 의 기판 에 여러 가지 물질 을 정확 하게, 그리고 제어 하기 위하여 설계 되었다. 이 시스템은 10 ~ 100 nm 두께의 재료 층을 증착 할 수 있으며, 다양한 기판 및 재료에서 박막 (PVD) 의 물리적 증기 증착 (PVD) 에 사용될 수 있습니다. LEYBOLD HERAEUS Z 550에는 여러 가지 기능이 있어 고정밀 PVD 어플리케이션을 위한 최적의 선택입니다. 200mm x 200mm 설계 면적의 현대식 폐쇄 루프 장치 (closed-loop unit) 가 포함되어 있어 더 큰 기판에 적합합니다. 챔버 (chamber) 의 온도 범위는 최대 200 ° C이며, 전체 기판에서 온도 조절 및 균일성을 허용합니다. 또한, 기계는 기체를 정확하게 도입 및 제어 할 수있는 고정밀 가스 전달 도구를 가지고 있습니다. HERAEUS Z550에는 PVD 응용 프로그램에 특히 적합한 다른 여러 기능이 포함되어 있습니다. 고정밀, 저진공 증착을 가능하게하는 고진공 펌핑 장치가 있습니다. 에셋은 이중 단계 증착을 위해 구성 될 수도 있습니다. 즉, 두 개의 다른 프로세스 단계를 단일 사이클 (single cycle) 로 수행 할 수 있습니다. 이렇게 하면 더 두꺼운 "레이어 '와 다른 재료 의 더 얇은" 레이어' 가 증착 될 수 있다. LEYBOLD HERAEUS HERAEUS Z550은 또한 정확하게 제어 된 교정 및 정렬 모델을 특징으로하며, 각 사이클마다 일관된 증착 품질을 보장합니다. 이것은 변형을 줄이고, 다른 기질에 걸친 필름 두께의 균일성을 보장하는 데 도움이됩니다. 또한 "피이큐리티 '에 사용 되는" 가스' 의 불순물 이나 발화 로 인한 기질 의 손상 가능성 을 줄이는 데 도움 이 된다. 또한, 이 장비는 완전히 자동화되어 있으며, 사용자 친화적인 인터페이스를 제공하므로 설치, 작동, 제어가 용이합니다. 마지막으로, Z550은 고정밀 PVD 어플리케이션을 위한 비용 효율적인 선택입니다. 은행 (Bank) 을 깨지 않고 종합적인 기능을 제공하며, 다양한 박막 (Thin Film) 을 다양한 기판에 입금하려는 사람에게는 스마트 한 옵션입니다.