판매용 중고 LEYBOLD / BALZERS ZH 620 #293818706
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LEYBOLD/BALZERS ZH 620은 다양한 산업에서 사용되는 고급적이고 비용 효율적이며 신뢰할 수있는 스퍼터링 장비입니다. 탁월한 스퍼터링 성능과 탁월한 프로세스 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 고급 스퍼터링 소스- LEYBOLD ZH 620 이온 소스가 포함되어 있습니다. 이 "이온 '원 은 공정 의 요구 조건 에 따라 조정 할" 스퍼터링' 장 을 만든다. 이를 통해 다양한 산업 응용 프로그램에서 최적의 스퍼터링 성능이 가능합니다. BALZERS ZH 620에는 시스템의 부분 간 일관성과 유연성을 최적화하는 고급 역학 (Advanced Mechanics) 및 제어 시스템 (Control System) 도 장착되어 있습니다. 이 장치에는 완전하게 자동화되고 프로그래밍 가능한 모션 (motion) 이 장착되어 있어 증착 과정을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 증착 및 에칭 프로시저에 사용될 수있는 고전류 금속 증기 소스 (high-current metal vapor source) 를 특징으로합니다. ZH 620의 스퍼터링 챔버는 455 x 460 x 425mm이며 내부 부피는 85 리터입니다. 약실 에는 거대 한 "플래퍼 '" 밸브' 가 장착 되어 있는데, 이 "밸브 '는 균일 한" 가스' 흐름 을 위한 대형 압축기 로 구동 된다. 이 챔버에는 안전 및 보안 개선을위한 고압 잠금 도어가 있습니다. 또한 LEYBOLD/BALZERS ZH 620은 온도 일관성을 보장하고 오염을 방지하기 위해 온도 조절 환경을 갖추고 있습니다. 이 도구에는 스퍼터링을 위해 최대 32kW의 전력을 공급할 수있는 10 세그먼트 RF 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. 또한 전원 공급 장치는 프로세스 반복성과 제어를 최적화할 수 있는 다양한 바이어스 (bias) 및 드웰 (dwell) 설정을 제공합니다. LEYBOLD ZH 620은 다양한 응용 분야에 적합한 스퍼터링 자산입니다. 사용하기 쉽고, 효율적인 작업 설계로 인해 비용 효율적인 운영을 제공합니다. 고급 기능과 안정적인 전력 공급원은 BALZERS ZH 620을 스퍼터링 응용 프로그램에 이상적인 선택으로 만듭니다.
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