판매용 중고 LEYBOLD / BALZERS Z 650 #9026903

LEYBOLD/BALZERS Z 650 스퍼터링 장비는 무선 주파수 (RF) 에너지를 사용하여 박막을 다양한 기판에 배치합니다. 이 시스템은 금속, 합성 및 합금의 고품질 스퍼터링을 위해 설계되었으며 6 소스 이온 소스와 균형 잡힌 RF 발전기가 장착되어 있습니다. LEYBOLD Z 650은 증착 된 필름 표면에서 뛰어난 반복성과 뛰어난 거칠기로 최대 2 nm/s의 높은 증착률에 도달 할 수 있습니다. 발 저스 Z 650 (BALZERS Z 650) 은 뛰어난 필름 특성을 가진 박막의 균일 한 증착을위한 초저에너지 전자 소스를 갖추고 있습니다. "필름 '증착 의 균일성 은 전자" 에너지' 가 낮아서 "플라즈마 '로부터" 이온' 을 추출 하여 증착 손실 이 거의 없이 기판 으로 옮길 수 있다. 또한, 전자 공급원은 매우 낮은 기질 바이어스를 제공 할 수 있으며, 오염 물질의 흡수, 더 나은 접착, 더 긴 선반 수명을 갖는 매우 균일 한 박막 (thin film) 을 제공합니다. Z 650 장치는 박막을 반복 가능하고 재현 가능한 증착을 제공하기 위해 자동화되었습니다. 압력 (pressure), 온도 (temper), 전력 (power), 지속 시간 (duration) 과 같은 프로세스 매개변수가 자동으로 제어되므로 증착된 필름의 더 나은 반복성과 재생성을 달성하고 스퍼터링 머신의 지속적인 작동을 보장합니다. LEYBOLD/BALZERS Z 650 도구는 자동 비상 정지 (Emergency Stop), 진동 모니터링 자산 및 압력 변화 시 자동 종료 (Automatic Shutdown) 와 같은 풍부한 보호 기능을 갖추고 있습니다. 이 기능은 모델을 보다 사용자 친화적 (user-friendly) 으로 만들 뿐만 아니라 장비의 안전성과 성능도 향상시킵니다. 마지막으로 LEYBOLD Z 650에는 비디오 카메라, 쿼츠 크리스탈 모니터, 질량 분석기 등 다양한 모니터링 장치가 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 사용하면 증착 공정을 지속적으로 모니터링할 수 있으며, 증착 필름의 두께 분배, 지형, 균일성에 대한 자세한 정보를 제공합니다.