판매용 중고 LEYBOLD / BALZERS Z 590 #9184058

LEYBOLD/BALZERS Z 590은 얇은 필름으로 대용량 기판을 코팅하도록 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 고출력 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 사용하여 고순도 고체 표적 (solid target) 물질을 폭격하고 대상 재료 원자를 지향적으로 분출하는 꾸준한 이온 스트림을 생성합니다. 분출 된 원자는 기질을 향해 이동하고, 표면에 균질 한 얇은 필름을 형성한다. 이 스퍼터링 절차는 매우 정확하며 신뢰할 수있는 박막 특성을 산출합니다. LEYBOLD Z 590 에는 스퍼터링 매개변수 (sputtering parameters) 를 자동으로 설정한 고도로 통합된 제어 장치 (control unit) 가 포함되어 있어 박막 증착 프로세스를 쉽게 작동시키고 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 RF (Low-Noise High-Power Radio Frequency) 생성기, 넓은 전력 범위를 가진 최적화된 ICP 소스, ICP 소스를 타겟에 최적으로 맞추기 위한 고출력 일치 네트워크 등의 고급 이온 소스 구성 요소도 포함되어 있습니다. BALZERS Z 590 (BALZERS Z 590) 은 또한 목표물에서 원치 않는 예금을 제거하기위한 개폐식 스크레이퍼가있는 자동 청소 및 컨디셔닝 도구를 갖추고 있습니다. 청소 자산은 아르곤 및 산소 가스 혼합물을 사용하여 최적의 청소 효율을 달성합니다. 또한 Z 590 에는 패들 (paddle) 을 갖춘 고정밀 포지셔닝 모델과 기판의 정확한 위치를 찾을 수있는 특수 추적 장비 (special tracking equipment) 가 포함되어 있어 스퍼터링 대상을 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 안전성 측면에서 LEYBOLD/BALZERS Z 590은 사용자에게 방사선 보호를 제공하는 차폐 구획으로 구성됩니다. 또한, 유해 부품에 대한 무단 액세스를 방지하는 프로그래밍 가능한 연동 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, 이 장치에는 증착실 (deposition chamber) 의 압력을 모니터링하는 고급 진단 시스템 (advanced diagnostic machine) 이 포함되어 있어 가스 누수 (gas leaks) 나 기타 결함을 쉽게 감지 할 수 있습니다. 결론적으로, LEYBOLD Z 590 스퍼터링 도구는 안정적이고 정확한 박막 증착이 필요한 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. 즉, 사용자 친화적인 인터페이스와 고급 기능을 제공하여 박막 증착 (Thin Film Deposition) 프로세스를 효율적이고 안정적으로 수행할 수 있습니다. 고급 안전 (Advanced Safety) 기능은 안전하고 안전한 작동을 보장하므로 다양한 박막 증착 (Thin Film Deposition) 어플리케이션에 적합합니다.