판매용 중고 KURT J. LESKER Torus 101 #9210524
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ID: 9210524
Magnetron sputtering source
With ground shields & feedthrus
Rectangular: 4 5/8" x 7 5/8".
KURT J. LESKER Torus 101 스퍼터링 장비는 얇은 금속 필름을 표면에 배치하도록 설계된 최첨단 기술입니다. 이 "시스템 '은 고압, 직류" 에너지' 로 연료 를 공급 받아 고효율 의 "스퍼터링 '과정 을 만들어 낸다. 이 장치에는 10 인치 웨이퍼에 맞도록 토로이드 (토러스) 크기가 있으며 기존 장갑 상자나 처리 실에 쉽게 맞습니다. 토러스 (Torus) 101 스퍼터링 머신은 표면에 매우 미세한 금속 입자를 정확하게 전달하도록 설계되었습니다. 이 도구에는 자체 조정, 저전압, 직접 전류 (direct current) 전원 공급 장치가 장착되어 있어 전원이 효율적이고 균등하게 분산되어 있는지 확인합니다. 또한 스퍼터링 소스 (sputtering source) 와 기판 사이의 접촉 부족으로 인해 챔버 (chamber) 로부터의 열적 소산을 줄이는 양극 판이 포함되어 있습니다. KURT J. LESKER Torus 101 스퍼터링 에셋은 또한 기판 표면의 증착 물질의 두께와 균일성을 제어하기위한 조정 가능한 스퍼터 압력 모델을 특징으로합니다. 챔버 (chamber) 디자인은 높은 플럭스, 균일 한 스퍼터 증착을 허용합니다. 또한, 이 장비에는 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 와 모니터링 기술 (monitor technology) 이 장착되어 있어 프로세스를 통제하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. Torus 101 스퍼터링 시스템은 소규모 생산 실행으로 작동하도록 설계되었습니다. 이 장치는 설치 및 유지 보수가 용이하며, 모든 구성 요소가 키트에 포함되어 있습니다. 기계는 고급 비활성 가스 (inert gas) 와 진공 (vacuum) 기술을 사용하여 기판 표면을 균일 하게 준수하는 매우 얇은 코팅 두께를 생성 할 수 있습니다. KURT J. LESKER Torus 101 스퍼터링 도구는 다양한 금속 증착 응용 분야에 적합한 신뢰할 수있는 스퍼터링 자산입니다. 다른 스퍼터링 시스템에 비해 비용 효율적이고 효율적인 모델입니다. 이 장비는 박막 전극, 태양 광 장치 및 기타 광전기를 생산하는 데 이상적입니다. 토러스 101 스퍼터링 시스템 (Torus 101 sputtering system) 은 다양한 금속의 박막을 기판에 증착하기위한 안정적이고 비용 효율적인 플랫폼을 제공합니다.
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