판매용 중고 KURT J. LESKER Torus 101 #53523

KURT J. LESKER Torus 101은 박막 증착 응용을 위해 설계된 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 코팅 균일성 및 접착력을 향상시키기 위해 DC 또는 RF의 두 가지 모드로 작동합니다. 직류 (DC) 모드는 스퍼터링 레이어의 균일성이 중요하지 않은 반면, RF 모드는 고밀도, 고균일 한 재료 레이어에 이상적입니다. 이 장치에는 가변 가스 흐름 제어 (variable gas flow control), 압력 제어 (pressure control) 및 증착율, 필름 두께 및 기타 매개변수에 대한 정확한 제어를위한 중앙 처리 장치가 있습니다. 토러스 101 (Torus 101) 은 고에너지 이온을 생성하는 환상 모양의 마그네트론 소스를 사용하여 목표 물질을 스퍼터링합니다. 이 "디자인 '은 기판 전체 영역 에 대하여 극히 균일 한 필름 증착 을 가능 케 한다. [RF] 모드에서 균일 한 필름 품질을 유지하면서 증착의 두께를 변경할 수 있습니다. 진공기는 스퍼터링 도구 (sputtering tool) 에 통합되어 공정 중에 생성 된 가스 또는 입자를 제거합니다. 자산에는 이온 에너지를 정확하게 제어하기위한 온도 센서 및 1/4 파 일치 네트워크가 포함됩니다. 고급 전원 공급 장치 설계로 고전원과 저전력 작동이 모두 가능합니다. 또한, 터보-분자 펌프 모델 (turbo-molecular pump model) 이 장비에 통합되어 원하는 기판 온도를 달성하고 증착 동안 최적의 boresight 안정성을 유지합니다. 또한 고급 KURT J. LESKER Torus 101 스퍼터링 시스템에는 내장형 진단 기능이 포함되어 있어 사용자가 장치 성능을 평가할 수 있습니다. 진단 유틸리티는 마그네트론, 진공기, 온도, 가스 흐름 및 기타 매개변수의 상태에 관한 정보를 제공합니다. 정밀도를 높이기 위해, 사용자는 최적의 박막 증착을 위해 다양한 정교한 레시피 중에서 선택할 수 있습니다. 토러스 101 스퍼터링 도구 (Torus 101 sputtering tool) 는 플라즈마 에칭 및 산화 응용 프로그램뿐만 아니라 빠르고 균일 한 박막 증착을위한 이상적인 솔루션입니다. 이 자산은 중소, 성장, 중견 기업의 요구 사항을 충족하고 안정적이고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 다재다능성과 정확성으로 인해 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics), 광학 (optics), 항공 우주 공학 (aerospace engineering) 과 같은 광범위한 분야의 산업 및 연구 응용 분야에 적합합니다.