판매용 중고 KURT J. LESKER PVD 75 #9164257

KURT J. LESKER PVD 75는 기계, 광학, 전기 및 자기 필름을 기판에 배치 할 수있는 스퍼터 증착 장비입니다. 이 시스템은 직경이 75mm ~ 150mm 인 4 개의 독립적으로 제어 된 스퍼터 목표를 사용하며, 이를 통해 동시에 최대 4 개의 다른 재료를 증착 할 수 있습니다. PVD 75는 트리오드 스퍼터 건 (triode sputter gun) 을 사용하여 표적 재료에 비활성 가스 (가장 일반적으로 아르곤) 를 지시하여 표면 재료의 분출과 챔버에 위치한 기판으로의 수집을 허용합니다. 목표물은로드 락 챔버 (load-lock chamber) 에 보관되어 있어 대상 액세스가 쉽고, 챔버 및 기판의 오염을 최소화할 수 있습니다. 장치를 사용하지 않을 때 로드 잠금의 기본 압력은 6 x 10-6 Torr (6 x 10-6 Torr) 로 유지됩니다. KURT J. LESKER PVD 75에는 19 인치 터치 스크린이있는 컴퓨터 화 된 제어기 (Computerized Control Machine) 가 있습니다. 제어 도구에는 프로세스 정보, 프로세스 레시피 정보, 자산 상태, 지원 도구, 데이터 로깅, 데이터 포트 연결 및 기타 사용자 정의 기능에 대한 메뉴 기반 설정이 포함됩니다. 스퍼터 증착 과정은 진공 상태에서 이루어지며, 모델은 뛰어난 진공 성능을 제공합니다. 가장 낮은 달성 가능한 압력은 5x10-5 Torr입니다. 횡격막-기계 펌프의 조합으로 뒷받침되는 터보 분자 펌프는 5 분 이내에 2x10-5 Torr 이상의 압력 상승으로 PVD 75 빠른 펌프 다운 타임을 제공합니다. KURT J. LESKER PVD 75에는 통합 샘플 난방 장비가 포함되어 있으며, 섭씨 최대 500 도의 기판 온도가 가능합니다. 이 시스템은 또한 균일 한 증착을 위해 기판 및 목표 거리를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 의 연동 장치는 과전압 (overvoltage) 이나 과도한 온도에 노출되어 구성 요소를 손상으로부터 보호하기 위해 설계되었습니다. PVD 75에는 장애 인식 및 경보 기능이있는 광범위한 안전 도구가 있습니다. KURT J. LESKER PVD 75는 신뢰할 수있는 최첨단 스퍼터링 자산으로, 광범위한 스퍼터 증착 응용 분야에 적합합니다. 컴팩트한 디자인, 통합 난방 (integrated heating) 및 안전 시스템 (safety system), 빠른 펌프 다운 (pump down) 시간을 통해 연구 및 산업 응용에 이상적인 선택이됩니다.