판매용 중고 KURT J. LESKER PVD 75 #293778253
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ID: 293778253
빈티지: 2006
Physical Vapor Deposition (PVD) system
Vacuum chamber with multiple ultra-high vacuum (UHV) ports
CTI 8200 Compressor
CTI CRYO-TORR 8F Vacuum pump
SIGMA INSTRUMENTS SQC-122C Controller
ULVAC Scroll pump
MAPS Electronic Vacuum Processor (EVP) Power supply
MAPS Ion source controller, 3"
(3) Thermal boat
Connecting cable
No electron beam (E-beam) source
No magnetron
Chamber capacity: 75 liters
2006 vintage.
KURT J. LESKER PVD 75는 박막 코팅 공정을 수행하기 위해 특별히 설계된 데스크탑 유형 스퍼터링 장비로, 저속 (low-rate) 응용 프로그램 모두에 사용할 수 있습니다. 사용자가 품질 금속, 세라믹 및 복합 필름을 생산할 수있는 효과적인 플랫폼을 제공합니다. 이 스퍼터링 시스템은 진공실, 처리 구역, 전원 공급 장치 및 다양한 주변 장치로 구성됩니다. PVD 75의 주요 구성 요소 인 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 중량 세라믹 기판 홀더가 지원하는 금속 도가니 및 창 어셈블리로 구성됩니다. 또한 진공실 내부에서 원하는 압력 수준을 유지하는 데 도움이되는 독특한 자동 펌핑 장치 (auto-pumping unit) 도 포함되어 있습니다. 처리 구역에는 두 개의 스퍼터링 소스를 한 번에 보유하기위한 컨트롤 박스 (control box) 와 한 쌍의 목표 보유자가 포함됩니다. 내부 전원 공급 장치 는 "스퍼터링 '원 에 정밀 한 전력 을 공급 해 주며, 생산 되는" 필름' 의 종류 에 따라 조정 을 할 수 있게 해 준다. KURT J. LESKER PVD 75에는 디렉터가 도구의 모든 측면을 쉽게 제어 할 수있는 사용자 친화적 인 터치 스크린 디스플레이를 갖춘 고급 컨트롤 머신 (Control Machine) 도 있습니다. 사용자는 바이어스, 성능 수준, 압력 설정을 수동으로 조정할 수 있습니다. 또한 고급 진단 (Advanced Diagnosis) 및 오류 감지 도구 (Error Detection Tools) 를 통해 프로세스가 원활하고 효율적으로 실행되도록 합니다. 자산은 컴팩트하고 가볍고 쉽게 운송 할 수 있습니다. 고품질 안경 부품 생산, 항공우주· 자동차산업 부품 생산 등 저품률 (low & high rate) 응용에 활용될 수 있다. 또한 다양한 프로세스 제어 시스템 (Process Control System) 과도 호환되므로 코팅 프로세스를 더욱 사용자 정의하고 최적화할 수 있습니다. 전반적으로, PVD 75는 사용자가 다양한 박막 증착 프로세스를 수행 할 수있는 안정적인 플랫폼을 제공합니다. 사용자 친화적인 제어 모델, 자동 펌핑 (auto-pumping) 장비, 견고한 설계를 통해 모든 프로세스를 효율적이고 정확하게 완료할 수 있습니다. 다양한 주변 장치 구성요소 (Peripheral Component) 를 통해 사용자는 프로세스를 사용자 정의하고 최적화할 수 있는 추가 옵션을 제공합니다.
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