판매용 중고 KURT J. LESKER Pro Line PVD 75 #9397771

KURT J. LESKER Pro Line PVD 75는 박막 증착을 위해 특별히 설계된 이중 마그네트론 스퍼터 장비입니다. 기능에는 두 개의 개별 무선 주파수 (RF) 스퍼터 전력, 가변 RF 전력 및 주파수, 가변 공정 가스 압력이 포함됩니다. PVD 75는 또한 고온 평면 서셉터 소스를 사용하며, 이는 증착 속도를 높이는 동시에 균일 한 필름 두께를 제공합니다. PVD 75에는 2 소스 마그네트론이있는 8 인치 다이오드 증착실이 있습니다. 이것은 넓은 스퍼터링 영역으로 인해 최대 증착률과 균일성을 보장합니다. PVD 75에는 기판 온도가 최대 500 '인 3 개의 고온 서셉터 소스가 있습니다. 이 기동성 "지그 '는 기판 에서 표적 으로 거리 를 더 쉽게 변경 시켜 준다. PVD 75에는 프로세스 가스의 더 효과적인 활용을 위해 설계된 프로세스 가스 압력 제어 시스템 (process gas pressure control system) 이 있습니다. 또한 증착률이 높아지도록 원하는 압력 및 배송률을 제공합니다. PVD 장치는 효율성, 안전성 및 편의성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 제어 패널에 디지털 방식으로 표시되는 온도, 압력, 전원 모니터링 기능이 있습니다. 이렇게 하면 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있고, 필요에 따라 적시에 조정할 수 있습니다. 또한, 데이터를 저장 및 모니터링하여 증착 과정을 더 잘 이해할 수 있습니다. PVD 75는 완전히 자동화되었으며 독립형 및 원격 제어 모드가 있습니다. 즉, 사용자가 시스템을 수동으로 작동하지 않고도 작업을 계속할 수 있습니다. PVD에는 프로세스 요구에 따라 조정 할 수있는 자동 소스 매칭 (matching) 및 동력 대상 (motorized target) 이 있습니다. 프로 라인 PVD 75 (Pro Line PVD 75) 는 필름의 우수한 증착률과 균일성을 제공하는 고급 스퍼터 증착 도구입니다. 작동이 쉽고, 효율성이 높으며, 스퍼터 파워 2 개, 조절 가능한 기판 온도, 공정 가스 압력 제어, 데이터 통합 및 리모콘 등 다양한 기능을 제공합니다. 신뢰할 수있는 고성능 스퍼터 증착 자산을 찾는 고객은 KURT J. LESKER Pro Line PVD 75를 고려해야합니다.