판매용 중고 KURT J. LESKER PEDL18MTDHT001 #9308191

ID: 9308191
빈티지: 2008
Sputtering system 2008 vintage.
KURT J. LESKER PEDL18MTDHT001은 KURT J. LESKER Company Ltd.에서 제조 한 고속 행성 스퍼터링 장비입니다. 반도체, 태양 광, 광학, 디스플레이 장치 연구 및 생산을 포함한 다양한 코팅 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 강력한 산업 DC 전원 공급 장치 (DC 전원 공급 장치) 로 구동되며, 최대 2000와트의 전력을 공급하고, 매우 안정적인 출력 전력을 유지할 수 있습니다. DC 전원 공급 장치는 여러 대상에 대해 구성할 수 있으며 최첨단 전류 제어 장치 (State-of-Art Current Control Unit) 와 함께 제공되므로 정확하고 일관성 있고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치의 스퍼터링 헤드는 혁신적인 멀티 포켓 대상 (multi-pocket target) 설계를 사용하여 넓은 지역에 걸쳐 최대 증착률을 용이하게하도록 설계되었습니다. 또한 다수의 타겟 및 기판 캐리어와 수많은 차폐 (shielding) 액세서리를 갖춘 고도로 구성 가능합니다. 이는 증착, 차폐 및 청소 작업에 대한 최고 수준의 안전을 보장합니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 우수한 온도 균일성으로 스퍼터링 작업을 위해 안정적인 저압 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 챔버는 강력한 기계식 진공 펌프에 의해 압력을 받고 2 개의 풀 사이즈 황삭 펌프로 대피합니다. 그것의 구조는 최대 기본 압력을 보장합니다. 또한 PEDL18MTDHT001 기계에는 고급 진공 플라즈마 도구 (Vacuum Plasma Tool) 가 포함되어 있으며 정교한 자동화를 통해 생산 수준의 처리량을 지원합니다. 이 제품은 모든 관련 프로세스 매개변수 (parameter) 를 실시간으로 모니터링할 수 있는 고급 센서 (sensor) 어레이를 갖추고 있으며, 전체 자산에는 포괄적인 유지 보수 계획 (maintenance plan) 이 적용되어 앞으로 몇 년 동안 안정적인 성능을 보장합니다. 요약하면, KURT J. LESKER PEDL18MTDHT001 행성 스퍼터링 모델은 다양한 코팅 응용 프로그램을 위해 설계된 고급형 고성능 장치입니다. 탁월한 성능, 반복성, 안전성을 제공하며, 효율적인 운영을 위해 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 이 단위와 함께 최고의 유지 보수 계획은 수많은 코팅 사이클에서 안정적인 성능을 보장합니다.
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