판매용 중고 KURT J. LESKER Lab 18 #9050909
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판매
ID: 9050909
빈티지: 2007
Sputtering system, 4"
Single chamber
Single load lock DC/RF sputter
(5) targets
Currently processing 4” wafers, bottom up sputter with IR/Heated sputtering
2007 vintage.
KURT J. LESKER Lab 18은 가스 방전 공정을 사용하여 금속 또는 기타 물질에서 얇은 필름을 생산하도록 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 스퍼터링 프로세스는 밀폐된 챔버에 플라즈마를 생성함으로써 시작됩니다. 이온화 된 "가스 '인 이" 플라즈마' 는 "아르곤 '과 같은 비활성" 가스' 와 함께 폭격 을 당하며, 그 때문 에 표적 물질 의 원자 들 이 "가스 '로부터 분리 된다. 그런 다음, 방출 된 원자 를 얇은 "필름 '의 형태 로 기판 에 투영 한다. 그러므로 질량, 압력, "에너지 '의 정확 한 조절 은" 필름' 의 원하는 수준 의 접착 과 균일성 을 달성 하는 데 필수적 이다. Lab 18이 뛰어난 곳입니다. 이 시스템은 스퍼터링 (sputtering) 프로세스의 정밀성을 보장하기 위해 다양한 고급 (advanced) 기능을 갖추고 있습니다. 예를 들어, 소스 챔버 압력 (source chamber pressure) 은 디지털 조정이 가능하며, 특정 작업에 필요한 것까지 쉽게 압력을 조정할 수 있습니다. 이 장치에는 특수 프로그래밍 가능한 대상 히터 (target heater) 가 있으며, 이는 작동 중 대상을 과다 복용하는 것을 방지합니다. KURT J. LESKER Lab 18에는 더 많은 기능이 있습니다. 방대한 안전 프로토콜 (예: 산소 모니터) 이 컴퓨터에 내장되어 있으며, 안전한 운영 환경을 보장하여 폭발을 방지하도록 설계되었습니다. 이 도구는 또한 라이브 뷰 CCTV 카메라가있는 정교한 모니터링 에셋 (monitoring asset) 을 통해 운영자가 스퍼터링 프로세스를 실시간으로 관찰 할 수 있습니다. 마지막으로 Lab 18 은 사용자의 요구 사항에 따라 구성될 수 있으며, 타겟 기판의 크기와 모양, 대상 자료 (Target Material) 에 대한 유연성을 제공합니다. 간단히 말해서, KURT J. LESKER Lab 18은 박막 생산에서 향상된 정확성과 정밀도를 제공하도록 설계된 고급 스퍼터링 모델입니다. 안전 및 운영 효율성을 보장하기 위해 설계된 다양한 기능을 갖춘 랩 18 (Lab 18) 은 안정적이고 사용하기 쉬운 스퍼터링 장비를 찾는 모든 사람에게 적합한 선택입니다.
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