판매용 중고 KURT J. LESKER CMS-24 #9235982

KURT J. LESKER CMS-24는 뛰어난 접착 및 균일 성 특성을 가진 박막 재료를 정확하게 입금하도록 설계된 강력한 고속 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 진공 증발 소스, 고출력 무선 주파수 (RF) 스퍼터링 소스, 정밀 2 축 자동화 단계 및 자동 in-situ 웨이퍼 데이지 로딩/언로드 장치를 포함한 여러 구성 요소가 있습니다. 진공 증발 소스 3하이브리드 (Hybrid) 는 기판에 증발 및 증착 된 물질을 함유하는 도가니 (crucible) 를 가열함으로써 박막 증착을 돕는다. 고출력 유도 히터 (high power induction heater) 에 의해 도가니 (crucible) 가 정해진 온도로 가열되어, 넓은 범위에서 소스 온도와 엔드 포인트 강착률을 정확하게 제어 할 수 있습니다. RF 스퍼터링 소스 (sputtering source) 는 화학적으로 비활성 된 음극 기판을 기반으로하며, 넓은 지역에서 높은 전력 및 증착 율로 작동합니다. 이 소스는 뛰어난 접착, 균일성, 낮은 마이크로 범핑 특성을 가진 박막 (thin film) 을 생산할 수 있습니다. 이것은 기판에 증착 된 박막 재료의 최적의 균일성을 보장합니다. Precision Two-axis automated stage는 온도, 위치 및 증착 속도를 모니터링하면서 기판 및 증발 소스의 정확한 로봇 위치를 제공합니다. 기계 는 "소오스 '를 정밀 하게 정렬 하여 정확 한 박막 증착 을 가능 케 한다. 또한 자동화된 In-Situ Wafer Daisy Loading/Unloading Tool은 웨이퍼 처리 효율성을 높여 수동으로 Wafer를 입력 및 정렬하지 않고도 패널이나 캐리어를 빠르고 쉽게 설치, 로드할 수 있습니다. 에셋은 또한 웨이퍼 기판을 자동으로 스크린하여 특정 크기 공차 내에 있는지 확인합니다. CMS-24 스퍼터링 모델 (sputtering model) 은 정밀한 박막 증착을 위한 강력한 도구로서, 우수한 접착 특성으로 균일하게 증착되는 고품질의 재료를 생산할 수 있습니다. 견고한 기능과 자동화된 현장 내 웨이퍼 데이지 (in-situ wafer daisy) 로드/언로드 장비를 갖춘 이 시스템은 가장 까다로운 산업 요구 사항을 충족하는 효율적이고 안정적인 필름 증착 기능을 제공합니다.