판매용 중고 KURT J. LESKER CMS-18 #9184206

KURT J. LESKER CMS-18은 저온 스퍼터링 증착의 안정적이고 반복 가능한 프로세스를 위해 특별히 설계된 단일 스테이션 대용량 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 전통적인 DC 마그네트론 스퍼터링과 PDC (Pulsed-DC) 를 모두 채택하는 고급 기능이 있습니다. 알루미늄 (Aluminum), 크롬 (Chrome), 구리 (Copper), 니켈 (Nickel), 골드 (Gold) 및 실버 (Silver) 와 같은 금속의 얇은 필름을 스퍼터링 할 수있는 다재다능한 증착 도구입니다. 학술, 산업 및 연구 실험실에 적합합니다. CMS-18 장치는 스퍼터 헤드, 진공 챔버, 진공 펌프 및 정확한 VDT (Variable Density Target) 어셈블리의 전원을 공급하기 위해 단일 대용량 고전압 전원 공급 장치로 구성됩니다. 전원 공급 장치는 최대 4 개의 독립 스퍼터링 헤드에 적절한 전원을 공급할 수 있습니다. VDT 어셈블리는 균일하고 일관된 스퍼터 증착 균일성을 보장합니다. 증착율을 제어하기 위해, 정확한 균일 한 목표 위치를 허용하는 가변 셔틀 리프트 메커니즘이 제공됩니다. 진공 챔버 챔버 (vacuum chamber chamber) 는 최대 작동 압력 8mTorr을 위해 설계되었으며 DC 및 PDC 모드 모두에서 작동하기에 적합합니다. 대형 진공 챔버 (vacuum chamber) 에는 필요 또는 필요할 때 빠르고 안전한 가스 격리를 위해 탑재 된 탑재 된 격리 밸브가 제공됩니다. 이 기계에는 온도, 프로세스 모니터링과 같은 고급 프로세스 제어 기능도 제공됩니다. 스퍼터 공정 외에도 KURT J. LESKER CMS-18은 알루미나, 실리콘 및 기타 증착 물질 (예: 산화물, 질화물, 탄화물, 불소 및 기타 재료) 과 같은 공통 기질 물질을 지원합니다. 이 도구에는 또한 반응성 스퍼터링 프로세스를 허용하는 가스 전달 자산이 포함되어 있습니다. CMS-18 (CMS-18) 은 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 와 같은 모든 프로세스가 안정적이고 반복 가능하며, 증착 된 필름의 균일성이 크게 개선 될 수 있도록 매우 효율적인 도구입니다. 이 모델에는 운영 매개변수 (operational parameters) 와 필름 배치 프로세스 (film deposition process) 에 대한 실시간 정보를 운영자에게 제공하는 사용자 친화적 인 소프트웨어 세트가 함께 제공됩니다. KURT J. LESKER CMS-18은 각기 다른 기사 증착 요구 사항에 대한 솔루션을 제공하는 우수하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 이 외에도, 이 프로세스의 유연성과 제어를 통해 원하는 매개변수와 품질 필름 (quality film) 을 달성할 수 있습니다. 뛰어난 기능을 갖춘 CMS-18은 안정적이고, 고급, 다용도 저온 스퍼터링 증착 솔루션을 제공합니다.