판매용 중고 KURT J. LESKER CMS-18 #9183484

KURT J. LESKER CMS-18은 얇은 필름을 기판에 입금하도록 설계된 포괄적 인 스퍼터링 장비입니다. 다양한 응용 분야에 대한 연구 및 개발을 수행 할 수있는 다양한 기질 분자 빔 에피 택시 (MBE) 플랫폼입니다. 고온, 고온 증착, 양극성 전자 폭격, 현장 진단과 같은 고급 기능을 갖춘 CMS-18은 연구 및 산업 생산에 이상적인 선택입니다. KURT J. LESKER CMS-18은 측량 단계, 4 포켓 소스 홀더, 고온 쿼츠 기판 보트, LPPS (Low Pressure Plasma Source), 가스 흐름 제어 시스템 및 광학 챔버. 측량 단계 (surveyor stage) 는 4 포켓 소스 홀더가 제어 축과 함께 임의의 위치로 이동할 수 있도록 허용하여 기판 및 기타 컴포넌트의 매우 정확한 위치를 달성합니다. 4 포켓 소스 보유자는 4 개의 다른 대상 재료를 동일한 기판 영역에 증착 할 수 있습니다. 이것은 생산 능력을 크게 향상시키고 생산 시간을 줄일 수 있습니다. 고온 석영 기판은 고온 열 과정을 유지하도록 특별히 설계되었습니다. 연장 된 시간 동안 최대 1200 ° C의 온도에도 견딜 수 있습니다. 또한, 보트에는 MBE 프로세스에 적합한 잘 제어 된 고온 환경을 제공하는 석영 또는 PG (pyrolitic graphite) 기판 홀더가 적재되어 있습니다. LPPS는 기질의 표면 사전 처리 및 활성화에 사용됩니다. 이 장치는 대상 표면에 균일 한 이온 플럭스 (ion fluxes) 를 가능하게하며, 향상된 필름 균질성을 위해 글로벌 표면 활성화를 제공하는 데 도움이됩니다. LPPS 외에도, 가스 흐름 제어 장치는 공정의 매개변수를 추가로 최적화합니다. 옵토-기계식 챔버에서 가스 압력을 도입하고 유지하는 데 사용됩니다. "가스 '압력 은" 스퍼터링' 속도 와 증착 과정 을 정확 하게 균형 을 잡고 조절 하도록 측정 된다. CMS-18 머신의 성능을 극대화하기 위해 옵토 기계식 챔버 (opto-mechanical chamber) 에는 박막 증착을 실시간으로 관찰 및 분석 할 수있는 시청 창이 있습니다. 그런 다음, 결과를 사용하여 적정 성능에 맞게 배치 매개변수를 조정합니다. KURT J. LESKER CMS-18은 강력하고 신뢰할 수있는 도구로, 연구 및 산업 제조 응용 분야에 적합한 완전 자동화 증착 프로세스를 제공합니다. 원하는 응용 프로그램의 고품질 박막 (Thin Film) 을 만드는 데 필요한 모든 구성 요소를 제공합니다. 고온 작동, 증착율 개선, 에너지 소비량 감소, 정밀도 향상 등을 제공합니다. CMS-18 은 CMS-18 의 정밀 제어 및 유연성을 바탕으로 박막 (Thin Film) 증착이 필요한 어플리케이션에 적합한 솔루션입니다.