판매용 중고 KURT J. LESKER 1800 #9215079
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ID: 9215079
Sputtering system
No load lock
Included:
(3) 3” Guns
Gun, 2"
(2) Gases
Cryo pump
Rotation and etch.
KURT J. LESKER 1800 스퍼터링 장비는 반도체 및 표면 준비 응용 분야를위한 업종입니다. 박막 증착 및 정밀 스퍼터링에 사용되는 자동 증착 시스템입니다. 넓은 영역을 처리하기에 적합하며 4 개 이상의 기판을 수용하는 최대 4 개의 로드 락 (load lock) 을 수용 할 수 있습니다. 1800 년은 실리콘 웨이퍼, 유리, 폴리머, 세라믹 및 금속을 포함한 여러 기질에 금속, 합금 및 산화물을 스퍼터 할 수 있습니다. 이 장치에는 자동 예열, 기판 청소, 기판 가열, 스퍼터 증착 (sputterm deposition) 에 이르기까지 전체 증착 과정을 자동화하는 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 컨트롤러를 사용하면 피드백 (feedback) 과 전원 제어 (power control) 를 통해 적출률과 온도를 정확하게 조절할 수 있습니다. 이 기계는 또한 RF 및 DC 스퍼터링 (Sputtering) 에 대한 조정 가능한 전력 출력 설정을 제공하여보다 균일한 레이어 두께와 서피스 텍스처 응용 프로그램의 방향 스퍼터링에 대한 발병 각도를 제공합니다. KURT J. LESKER 1800은 스퍼터링 과정에서 전문가의 정밀도를 제공합니다. 여기에는 높은 스퍼터 속도, 높은 기판 온도, 고속, 높은 레이어 설계 정확성 및 매우 균일한 레이어 두께가 포함됩니다. 또한 높은 균일 코팅, 공정 결과의 재생성, 총 이식성, 스퍼터링 전 Xe 폭격 및 다양한 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 1800 은 내구성이 뛰어나고 효율적인 스퍼터링 (sputtering) 툴로서, 다양한 산업 애플리케이션 요구 사항을 충족하는 다양한 기능을 제공합니다. '신뢰성 있고 비용 효율적인' 방식으로 다양한 소재를 스퍼터링할 수 있으며, 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 정확하고 반복 가능한 레이어 (layer) 설계를 원하는 사용자에게 이상적인 솔루션입니다. KURT J. LESKER 1800 은 최소한의 유지 보수가 필요하며, 다양한 애플리케이션에 다양한 기능을 제공할 수 있습니다.
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