판매용 중고 KRAUSS MAFFEI Triathlon #9165555

KRAUSS MAFFEI Triathlon은 KRAUSS MAFFEI가 얇은 필름의 증착을 위해 개발 한 스퍼터링 장비입니다. 유리, 금속, 플라스틱, 도자기 등 다양한 표면의 기판에 다양한 재료를 배치하도록 설계되었습니다. 증착 시스템은 3 개의 자기 구동 소스로 구성되며, 각각에는 2 개의 표적이 장착되어 있으며, 이는 공동 스퍼터링에 사용될 수 있습니다. 이를 통해 한 주기에 최대 3 개의 재료를 증착하여 복잡한 다중 성분 구조를 증착 할 수 있습니다. 또한, 원소 금속, 합금, 산화물, 질화물 등 다양한 물질을 증착 할 수 있도록 대상을 쉽게 교환 할 수 있습니다. 트라이 애슬론 (Triathlon) 장치는 원하는 재료와 구조에 따라 단일 단계 및 다중 단계 스퍼터링을 모두 허용합니다. 스퍼터 소스 (sputter source) 에는 수평 스퍼터 소스와 스퍼터 (sputtered) 물질을 기판으로 지시하는 데 사용되는 정전기 헥사 폴 (electrostatic hexapole) 이 들어 있습니다. 약실 은 "스퍼터링 '을 위한 최적 의" 가스' 흐름 을 유지 하도록 압력 을 받으며, 균일 한 증착 속도 로 온도 를 조절 한다. 주 소스에는 회전 마그네트론이 장착되어 있으며, 다른 두 소스는 RF 또는 DC 바이어싱에 사용될 수 있습니다. 스퍼터링 속도는 조정 가능한 압력 조절기 (adjustable pressure regulator) 로 제어되어 균일 한 강착 속도와 두께를 달성합니다. 기계는 프로세스의 스퍼터 에칭 (sputter etching) 을 수행하여 기존 레이어 또는 디바이스를 수리 및 수정할 수 있습니다. 이를 통해 CMP (chemical-mechanical planarization), 산화, annealing 및 implantation과 같은 다양한 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 이 도구에는 증착 매개변수의 자동 변경을 위한 6 트랙 공정 반복 매개변수 (6-track process repeat parameter) 와 원격 작업을 위한 스테퍼 모터 (stepper motor) 가 장착되어 있습니다. KRAUSS MAFFEI Triathlon은 안정적이고 효율적인 스퍼터링 자산으로, 증착 매개변수 및 재료를 정확하게 제어합니다. 이를 통해 마이크로 일렉트로닉스, 광학 코팅, 박막 태양광 및 박막 트랜지스터를 포함한 다양한 응용 분야에 적합한 복잡한 다중 성분 기판 (multi-component substrate) 및 독특한 표면 구조를 만들 수 있습니다. 컴팩트하고 저렴한 비용으로, 다양한 실험실 환경에 적합합니다.