판매용 중고 KOREA VACUUM TECH VTC PVD-1300 #9173159
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ID: 9173159
Sputtering system
Chamber fitted
(3) LEYBOLD TMP1600 Turbo molecular pumps
(1) EDWARDS Roots pump
(1) EDWARDS Rotary pump
(4) Advanced converters 20K MP 20
(1) ADdvanced converters 18K Bias power supply
(2) Mass flow controllers
(1) Set rotary cage
(1) Magnet power supply
PLC with computer
Control panel for all controls.
KOREA VACUUM TECH VTC PVD-1300은 박막 코팅 및 고급 연구 응용 프로그램 모두를 위해 설계된 스퍼터링 증착 장비입니다. 이 시스템은 고출력 다이오드 (diode) 형 스퍼터링 소스를 사용하여 박막 (thin film) 을 입금하고 뛰어난 균일성과 높은 증착률을 가진 코팅을 생산합니다. 장치의 SWD (Source to Wafer Distance) 를 조정하여 최적의 필름 증착 조건을 위해 대상 간 거리의 다양한 구성을 허용합니다. PVD-1300 (PVD-1300) 은 또한 전자원에 낮은 에너지 전자 폭격 기계 (LEBS) 를 가지고 있으며, 정확하게 제어 된 에너지 수준으로 고 전력 전자 빔을 제공 할 수 있습니다. 이 도구 는 거의 모든 "가스 '와 함께 사용 하는 데 적합 하며, 자산 내 의" 가스' 압력 을 조절 하는 능력 을 제공 한다. 스퍼터링 증착 기능 외에도, PVD-1300에는 고급 온도 조절 시스템이 장착되어 있습니다. 난방원 과 냉각원 은 10 에서 300 도 (C) 까지 조정 할 수 있으며, 기질 온도 를 안정적 이고 균일 하게 유지 할 수 있다. 소비자는 또한 PVD-1300의 자동 압력 제어 (Automated Pressure Control) 모델을 사용하여 챔버 내에서 지속적인 작동 압력을 유지할 수 있습니다. 한국 진공 기술 PVD-1300 (KOREA VACUUM TECH PVD-1300) 은 스퍼터링 프로세스의 설정 및 매개변수에 대한 액세스를 제공하는 직관적인 제어 장비를 갖추고 있습니다. 사전 설정된 운영 조건을 최대 10 개까지 저장할 수 있으며, 과학자들이 시스템을 신속하게 설정하여 즉시 사용할 수 있도록 지원합니다. 또한 PVD-1300 은 자동 종료 기능 (Automatic Shutdown Feature) 과 같은 여러 모니터링 시스템을 제공하여 운영 중 안전성을 보장하고 장치 또는 해당 구성 요소의 손상을 방지합니다. PVD-1300 (PVD-1300) 은 매우 정밀하게 박막 (thin film) 을 증착 할 수 있도록 강력하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 머신입니다. 조절 가능한 SWD 및 온도 조절 시스템은 최적의 필름 증착 조건을 제공하는 반면, 자동 압력 제어 도구 (automated pressure control tool) 는 일정한 작동 압력을 유지하는 편리성을 제공합니다. 또한 PVD-1300 은 사전 설정된 운영 조건과 안전 모니터링 시스템을 통해 안전한 운영을 보장합니다. 강력한 기능과 정확한 제어 기능을 갖춘 KOREA VACUUM TECH PVD-1300 은 박막 코팅 및 고급 연구 응용프로그램을 위한 탁월한 선택입니다.
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