판매용 중고 KDF 9021 #9228090

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제조사
KDF
모델
9021
ID: 9228090
빈티지: 2012
Sputtering system 2012 vintage.
KDF 9021은 데이터 저장, 평면 패널 디스플레이, 광전자 장치 생산을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 금속, 가공 재료, 특수 필름 제작이 가능한 완전 자동 시스템입니다. 이 장치에는 4 개의 소스 캐리지 머신이 장착되어 있으며, 사용자는 4 개의 다른 재료로 동일한 기판에 박막 (thin film) 을 배치 할 수 있습니다. 소스는 카세트 에셋 또는 컨베이어를 통해 도구에 로드됩니다. 4 소스 캐리지는 여러 시스템에서 제공하는 유연성과 동일한 다양한 스퍼터링 (sputtering) 작업을 가능하게합니다. 스퍼터링 모델은 챔버에 하중/잠금 도어 (load/lock door) 장비를 장착하여 기판 표면에 빠른 가공소재 하중 및 개선 된 가공소재 정렬 정밀도를 제공합니다. 이 "시스템 '에는 낮은 청소 압력 을 유지 하기 위하여 고급" 와이프' 무늬 를 가진 진공 장치 가 추가 되어 있다. 이 기계에는 자동 필름 증착 (automated film deposition) 및 프로세스 제어가 가능한 고급 프로그래밍 및 운영 도구 기능이 장착 된 내장 컨트롤러가 있습니다. 사용자 인터페이스는 LCD 터치 스크린 모니터로 설계되어, 작업 매개변수를 쉽게 제어할 수 있습니다. 9021은 고급 설계 (전기 급지대 자산, 컨베이어 모델, 균일 한 가스 분사가있는 가스 박스, 배기 밸브 포함) 를 통해 최대 생산 처리량 및 신뢰성을 보장합니다. 장비에는 정밀 스퍼터링 (Sputtering) 과 필름 두께를 보장하기 위해 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 이 추가로 장착되어 있습니다. 또한 스퍼터링 장치 (Sputtering Unit) 는 직원, 장비 및 제품을 보호하기 위해 여러 가지 안전 기능으로 설계되었습니다. 이 기계에는 문제 해결 도구 (Troubleshooting Tool) 와 작동 중 누출을 감지하는 알람 에셋 (Alarm Asset) 이 제공되어 인력과 제품을 보호합니다. 또한 이 모델은 EMC, ionizer 및 Cleanroom 요구 사항을 충족하여 가장 안전한 작업을 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 결국, KDF 9021은 데이터 저장, 평면 패널 디스플레이, 광전자 장치 생산에 사용할 수 있는 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 4 개의 소스 캐리지 유닛, 로드/잠금 도어 머신, 진공 도구, 내장 컨트롤러, 고급 프로그래밍 및 운영 자산 기능, LCD 터치 스크린 모니터, 전기 급지대 모델, 컨베이어 장비, 가스 박스, 배기 밸브, 고급 제어 시스템 및 최소 인력 노출.
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