판매용 중고 KDF 603 #293827896

KDF 603
제조사
KDF
모델
603
ID: 293827896
웨이퍼 크기: 4"
Sputtering system, 4" D65B Pump (8) Cryopump CTI-CRYOGENICS 8200 Compressor.
KDF 603은 반도체 및 전자 기기 제조를 위해 박막 증착 공정에 사용되는 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 고급 시스템은 최첨단 기술 (최첨단 기술) 을 통합하여 기판에 정확하고 균일 한 필름 코팅을 달성하고 업계의 엄격한 요구 사항을 충족시킵니다. 603 스퍼터링 유닛 (sputtering unit) 의 핵심에는 박막 증착에 필요한 매우 깨끗한 환경을 제공하는 높은 진공 챔버 (vacuum chamber) 가 있습니다. 약실 에는 여러 가지 표적 재료 가 갖추어져 있는데, 그 재료 는 일반적 으로 "알루미늄 '," 티타늄' 또는 구리 와 같은 금속 으로 만들어져 있으며, 이것 이 기판 에 스퍼터링 되어 박막 층 을 만든다. 이 표적은 플라즈마 방전 (plasma discharge) 에 의해 생성 된 고 에너지 이온으로 폭격되어 원자가 분출되고 기질 표면에 퇴적된다. KDF 603 머신 (KDF 603 machine) 의 핵심 특징 중 하나는 여러 계층의 다른 재료를 순차적으로 배치하여 특정 특성을 갖는 복잡한 박막 (Thin film) 구조를 만들 수있는 기능입니다. 이 기능은 고급 반도체 장치 제작에 필수적이며, 여기서 다른 계층은 전기 (Electricity), 절연 (Insulating) 또는 확산에 대한 장벽 역할을하는 등 다양한 기능을 제공합니다. 이 도구에는 스퍼터링 파워 (Sputtering Power), 가스 흐름 속도 (Gas Flow Rate) 및 기판 온도 (기판 온도) 와 같은 매개변수를 조절하여 증착 과정을 정확하게 제어하는 정교한 제어 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 수준의 제어는 대용량 제조 어플리케이션에 필수적인, 필름 품질의 재현성과 일관성을 보장합니다. 603 스퍼터링 (Sputtering) 자산은 증설 기능 외에도 고급 모니터링 및 진단 도구를 제공하여 프로세스 성능을 최적화합니다. 필름 두께 (Film Thickness), 컴포지션 (Composition) 및 균일성 (Uniformity) 과 같은 주요 매개변수의 실시간 모니터링을 통해 운영자는 즉석에서 프로세스 조건을 조정하여 고품질 박막 생산을 보장할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 간편한 유지 보수 및 서비스 기능을 제공하도록 설계되었으며, 대상, 실드, 기타 구성 요소에 쉽게 액세스할 수 있어 신속하게 교체하거나 조정할 수 있습니다 (영문). 따라서 다운타임을 최소화하고 생산성을 극대화하여 KDF 603을 산업 규모의 박막 증착을 위한 효율적인 도구로 만들 수 있습니다. 603 스퍼터링 장비는 또한 기판 가열, 기판 바이어싱, 또는 화합물 박막 증착을위한 반응성 스퍼터링 (reactive sputtering) 과 같은 추가 기능에 대한 옵션을 통해 사용자 정의가 가능합니다. 이 다양성은 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics), 광학 (optics), 태양 에너지 (solar energy) 와 같은 업계의 광범위한 응용 분야에 적합합니다. 전반적으로, KDF 603 스퍼터링 시스템은 고급 기능, 정확한 제어, 견고한 디자인으로 박막 증착을 위한 최첨단 솔루션을 나타냅니다. 반도체 기술이 계속 발전함에 따라 603 과 같은 고성능 박막 증착시스템 (Thin Film Deposition System) 에 대한 수요는 성장하고, 혁신을 주도하며, 업계의 발전을 기대할 것입니다.
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