판매용 중고 JM IOTA #129082

JM IOTA는 얇고 두꺼운 필름을 모두 입금하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 2 개의 공정 챔버로 구성된 이중 마그네트론 스퍼터링 장치입니다. 하나는 박막 증착에 사용되고 다른 하나는 두꺼운 필름 증착에 사용됩니다. 각 챔버에는 자체 음극, 전원 공급 장치, 플레 넘 및 RF 매치가 포함되어 있습니다. UHV (Ultra High Vacuum) 기계가 챔버의 깨끗함을 유지하기 위해 도구에 통합되었습니다. 이를 통해 광범위한 재료를 증착 할 수 있습니다. 박막 강착 챔버 (Thin film deposition chamber) 는 더 작은 기판과 높은 순도, 균일성 및 낮은 입자 오염이 필요한 응용 분야에 사용하도록 설계되었습니다. 이 금속은 고귀한 금속, 합금, 중합체 (polymer) 에서 소단층 (sub-monolayer) 에서 수백 나노미터 (nanometer) 까지 광범위한 두께로 재료를 증착 할 수 있습니다. 두꺼운 "필름 '증착실 은 두껍게 생긴 재료 층 을 증착 시키기 위해 설계 되었는데, 보통 두께 가 수백" 나노미터' 에서 수백 "미크론 '에 이르기 까지 사용 된다. 이 챔버에는 금속 산화물, 질화물 및 탄화물이 모두 퇴적 될 수 있습니다. 약실은 또한 합금 재료의 증착을 허용하기 위해 적응할 수있다. 두 방에는 조정 가능한 온도 조절 시스템 (temperate control system) 이 있으며, 광범위한 재료에 대해 증착 속도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이를 통해 균일 하고 반복 가능한 코팅을 다양한 기판에 일관되게 적용 할 수 있습니다. 일반 증착실 외에도, IOTA에는 나노 컴포지트 필름의 증착을 가능하게하는 화학 증기 증착 (CVD) 자산도 포함되어 있습니다. CVD 모델을 사용하면 무기 및 유기 물질의 커플 증착이 다기능 나노 컴포지트 필름을 생성 할 수 있습니다. 전반적으로, JM IOTA 스퍼터링 장비는 얇고 두꺼운 필름의 증착을위한 매우 다재다능한 도구입니다. 광범위한 재료와 공정 (process) 을 통해 오염을 최소화하면서 고품질 필름을 만들 수 있습니다.