판매용 중고 INNOVATIVE SYSTEMS ISE IE-PVD-3000 #9176092

혁신적인 시스템 ISE IE-PVD-3000은 산업 금속 및 금속 합금 생산에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 프로세스 수율을 향상시키도록 설계되었으며, 여러 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 그것 (multi-step sputtering process) 을 사용하여 금속 또는 금속 합금 층을 기판에 배치하고, 전체 프로세스는 컴퓨터 화 된 유닛에 의해 제어됩니다. 기계는 스퍼터 챔버 (sputter chamber), 전자 빔 소스 (electron beam source) 및 절연 인클로저 (insulated enclosure) 를 사용하여 작동합니다. 스퍼터 챔버는 아르곤 가스로 채워진 진공 밀폐 챔버입니다. 전자 는 "챔버 '내 의 고속 으로 가속 되어" 기판' 을 통과 하여 금속 혹은 금속 합금 층 으로 통과 할 수 있게 된다. 전자는 금속 (metal) 이나 금속 (metal) 합금의 원자와 합쳐져 분열되어 다층 (multi-layer) 층으로 개혁됩니다. 챔버에는 열 발생을 줄이기 위해 절연 인클로저가 장착되어 있습니다. 이 단열은 기판 또는 스퍼터링 된 물질의 열 손상을 방지합니다. 절연 인클로저는 또한 스퍼터링 프로세스의 정확성과 정밀도를 증가시킵니다. IE-PVD-3000은 매우 정확하므로 증착율, 두께, 심지어 레이어 균일성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 증착율을 모니터링하고 필요에 따라 조정할 수있는 자동 튜너 (auto-tuner) 가 장착되어 있습니다. 이것 은 모든 기판 에서 동일 한 질 의 "스퍼터 코우팅 '을 얻도록 한다. 이 도구는 또한 다양한 기능을 갖추고 있어 환경 (Environment) 이 가능한 한 안전한지 확인합니다. 자산과 인클로즈드 챔버 (enclosed chamber) 에 대한 무단 액세스를 방지하기 위해 내부 잠금 메커니즘으로 설계되었습니다. 또한 유지 보수 및 서비스를 쉽게 이용할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, IE-PVD-3000은 폐기물을 줄이고 스퍼터링 프로세스의 환경 영향을 개선하도록 설계되었습니다. 아르곤을 사용하여 유해 물질의 배출을 줄입니다. 또한, 에너지 소비를 최적화하는 프로그래밍 가능한 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. 전반적으로 ISE IE-PVD-3000은 최첨단 스퍼터링 모델로 프로세스 생산량 향상, 환경 영향 감소, 작업자 안전 향상 등을 위해 설계되었습니다.