판매용 중고 INNOTEC VS-24C #190502

INNOTEC VS-24C 스퍼터링 장비는 완전하게 통합되고 자동화된 장치로, 박막 재료의 PVD (physical vapor deposition) 와 관련된 모든 프로세스에 사용됩니다. 온라인 진공 증착 솔루션 (online vacuum deposition solution) 은 프로세스 윈도우가 넓어 다양한 애플리케이션에 적합합니다. VS-24C는 셔터리스 (Shutterless) 및 질화물 증착 기능을 포함한 고급 증착 제어 및 진단 (Diagnostics) 과 같은 최신 PVD 기술을 갖춘 멀티 소스, 멀티 챔버 시스템입니다. 또한 직관적인 Windows 기반 GUI (Graphical User Interface) 와 사용자 지정 구성을 위한 유연한 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. 이 장치는 유전체 및 반도체 재료의 PVD를 위해 설계되었습니다. 최적화된 프로세스 창과 닫힌 루프 (closed-loop) 프로세스 제어는 균일한 필름 품질과 두께 제어를 보장합니다. 모듈식 설계를 통해 최대 4 개의 개별 챔버 (chamber) 를 추가할 수 있으며, 사용자는 증착 규모 및 생산 능력 측면에서 유연성을 제공합니다. INNOTEC VS-24C 는 고품질, 신뢰성 있는 증착 결과를 제공할 수 있으며, 처리량 및 제품 수율을 극대화하는 특정 설계를 갖추고 있습니다. 소스 구성과 기판 크기가 다르므로, 특정 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이 기계는 시간-펄스, 원형 및 세그먼트 회전 스퍼터링 프로세스를 수행하며, 고급 2 소스, 2-target 구성을 포함하여 광범위한 스퍼터 속도를 갖습니다. 또한 마이크로 프로세서 제어 가변 전력 (microprocessor-controlled variable power source) 이 포함되어 있어 필름 증착 매개변수를 정확하게 제어합니다. VS-24C 는 자동화/제어 수준이 높은 고급 PVD 툴로서, 처리 시간을 줄이고 증착률을 높일 수 있습니다. 사려 깊게 설계된 설계와 포괄적인 기능의 패키지는 고객의 만족도를 극대화합니다.