판매용 중고 INNOTEC DS 24 #2736

INNOTEC DS 24는 대용량 및 소규모 목표에 적합한 고성능 스퍼터링 장비입니다. 스퍼터링 시스템은 24kW DC 대상 전원 공급 장치로 구동되며, 생산 및 연구 응용프로그램에 적합합니다. 고급 프로세스 제어 장치 (process control and monitoring unit) 가 있어 스퍼터링 매개변수를 쉽게 제어하고 조정할 수 있습니다. 따라서 프로세스를 반복하고 재현할 수 있어 고품질 (고품질) 의 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 다양한 재료를 스퍼터팅 할 수 있으며, 최대 100 nm 두께의 얇은 필름을 배치 할 수 있습니다. 다목적 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 는 여러 대상으로 구성할 수 있으며, 다양한 크기와 모양에 적합합니다. 이 챔버 (Chamber) 에는 인접한 소스 및 기판 홀더가 장착되어 있으며, 기판 및 대상을 배치 할 때 많은 유연성이 있습니다. DS 24 는 고속 스윕 및 느린 스윕 냉각 구성을 포함한 다양한 냉각 옵션을 제공합니다. 또한 스퍼터 된 필름의 원소 구성을 신속하게 결정할 수있는 높은 정밀 EDAX EDXRF 에너지 분산 분광계가 있습니다. 또한 EDAX 툴은 고속 분광계와 시간당 최대 15 개의 샘플을 처리하여 고속 분석을 제공합니다. 스퍼터링 에셋에는 18 m3/h 터보 분자 펌핑 스테이션이 장착 된 전용 진공 모델도 있습니다. 이렇게 하면, 장비 의 청결 함 이 유지 되어 "박막 '증착 과정 의 최적 작업 조건 이 보장 된다. 또한 INNOTEC DS 24 (INNOTEC DS 24) 는 지능형 알라밍 및 모니터링 시스템을 제공하여 시스템 장애를 조기에 감지하고 문제를 해결하기 전에 시간을 남겨둡니다. 또한 프로세스 모니터링 도구 (process monitor tools) 를 모아 연구원들이 프로세스를 최적화하고 증착 매개변수를 세밀하게 조정하여 원하는 결과를 얻을 수 있도록 합니다. 전반적으로, DS 24 는 안정적이고 반복 가능한 프로세스 성능을 제공하는 고급 사용자 친화적 스퍼터링 장치입니다. 생산과 연구용 응용프로그램에 적합하며, 지능형 시스템 (Intelligent Systems) 은 박막 증착 (Thin Film Deposition) 분야에서 귀중한 도구입니다.