판매용 중고 HITACHI IML6-1 #9172028

HITACHI IML6-1은 재료를 코팅하고 박막 장치를 만드는 고성능 스퍼터링 장비입니다. 전체 6 축 기계식 스테이지와 진공 챔버 (vacuum chamber) 가 특징이며 수평 또는 수직 방향으로 작동 할 수 있습니다. 이 시스템에는 유리, 금속, 플라스틱, 세라믹 등 다양한 기판을 수용 할 수있는 다양한 기판 홀더가 있습니다. 이 장치는 저전압, 저에너지 이온 가속기를 사용하며 빔 전류는 최대 1mA rms, 넓은 빔 스팟 크기는 30mm입니다. 고급 고밀도 플라즈마 제어와 결합 된 조절 가능한 빔 에너지 (beam energy) 는 스퍼터 소스 (sputter source) 배열을 사용하여 다양한 금속, 유전체 및 복합 박막을 효율적으로 증착 할 수 있습니다. IML6-1은 결함 수준이 낮은 우수한 품질 코팅 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 고급 챔버 (chamber) 와 소스 디자인 (source design) 은 스퍼터링 된 입자의 플라즈마 밀도와 에너지 밀도의 균일 성과 금속 접착 및 필름 균질성을 제어함으로써 적용 범위의 균일성을 보장합니다. 또한 고급 플라즈마 모니터링 머신 (plasma monitoring machine) 을 장착하여 플라즈마 위치를 정확하게 제어하고 균일성을 처리합니다. 이 도구에는 진공 압력, 산소 함량, 가스 분사 및 온도를 제어하기위한 최첨단 시스템도 포함됩니다. 이를 통해 운영자는 프로세스를 면밀히 모니터링하고 최적의 프로세스 결과를 확인할 수 있습니다. HITACHI IML6-1 (HITACHI IML6-1) 은 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 갖추고 있어 사용이 간편하며 자산 매개변수를 빠르고 쉽게 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 또한 광범위한 온라인 설명서 (문제 해결 가이드, 운영 지침, 사용 팁 등) 에서도 지원됩니다. IML6-1은 엄격한 제어 하에 탁월한 스퍼터링 성능이 필요한 프로젝트에 이상적인 선택입니다. 우수한 기판 마모 방지 (Substrate Wear Protection) 및 플라즈마 제어 기술 (Plasma Control Technology) 은 까다로운 재료에도 안정적인 품질의 필름을 제공합니다.