판매용 중고 HITACHI E-1045 #293757544

ID: 293757544
빈티지: 2012
Ion sputtering system 2012 vintage.
HITACHI E-1045는 반도체 제조 및 기타 고급 산업에서 박막 증착을 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 최첨단 기술 및 엔지니어링을 활용하는 E-1045는 다양한 기판 재료에 대해 정확하고, 안정적이며, 고품질의 필름 코팅을 제공합니다. 주요 특징 및 구성 요소: HITACHI E-1045 스퍼터링 시스템은 기판에 다른 재료를 스퍼터링하기 위해 여러 대상 스테이션이있는 강력한 진공 챔버를 갖추고 있습니다. 마그네트론 스퍼터링 음극 (magnetron sputtering cathodes) 과 같은 고급 플라즈마 소스를 장착하여 증착 과정의 효율성과 균일성을 향상시킵니다. 이 장치에는 또한 스퍼터링 매개변수 (예: 전력, 압력, 가스 흐름 속도) 를 정확하게 제어 할 수있는 정교한 전원 공급 장치가 포함되어 있습니다. 이것은 제작 프로세스의 뛰어난 필름 품질과 재생성을 보장합니다. 또한, E-1045에는 다양한 크기와 유형의 기판을 수용 할 수있는 신뢰할 수있는 기판 홀더가 제공됩니다. 홀더를 사용하면 조정 가능한 기울기 각도, 회전 속도, 가열 기능을 통해 특정 응용 프로그램의 필름 증착 조건을 최적화할 수 있습니다. 프로세스 유연성 및 호환성: HITACHI E-1045 스퍼터링 머신은 DC, RF, 펄스 DC 모드 등 다양한 스퍼터링 기술을 제공하여 다양한 컴포지션과 특성을 가진 필름을 배치 할 수 있습니다. 금속, 산화물, 질화물 등 다양한 대상 재료와 호환되며, 복잡한 다층 구조와 기능성 코팅의 증착이 가능합니다. 또한이 도구는 반응성 스퍼터링 프로세스를 지원하며, 여기서 산소 또는 질소와 같은 반응성 가스 (reactive gas) 가 챔버에 도입되어 화합물 필름 또는 합금을 형성합니다. 이 기능은 다양한 응용을위한 특정 화학 조성 및 특성을 가진 박막 (thin film) 을 증착 할 수있게한다. 고급 제어 및 모니터링 (Advanced Control and Monitoring): E-1045는 프로세스 안정성과 반복 가능성을 보장하기 위해 실시간으로 주요 매개변수를 모니터링하고 조정하는 고급 제어 자산을 갖추고 있습니다. 이 모델에는 진공 수준, 가스 구성, 증착률 측정을위한 통합 센서가 포함되어 있으며, 운영자는 프로세스 조건을 최적화하고 잠재적 문제를 신속하게 해결할 수 있습니다. 또한 HITACHI E-1045 는 사용자 친화적 인터페이스를 통해 중앙 집중식 제어 장치 (Central Control Unit) 를 통해 모든 스퍼터링 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 운영자는 배치 레시피를 프로그래밍하고, 프로세스 매개변수를 모니터링하고, 데이터를 분석하여 일관된 필름 품질과 성능을 얻을 수 있습니다. 응용 프로그램 및 성능: E-1045 스퍼터링 장비는 반도체 산업에서 박막 코팅이 필요한 집적 회로, 센서 및 기타 전자 장치를 제조하는 데 널리 사용됩니다. 광학 코팅 (optical coating), 자기 저장 매체 (magnetic storage media), 장식 필름 (discorative film) 의 생산에도 사용된다. HITACHI E-1045는 탁월한 필름 균일성, 접착 및 두께 제어로 유명하며, 높은 정확도와 신뢰성을 요구하는 어플리케이션에 적합합니다. 연구 개발 목적이든 대규모 생산이든, E-1045 스퍼터링 시스템은 박막 증착 공정에서 탁월한 성능과 효율성을 제공합니다. 전반적으로 HITACHI E-1045 스퍼터링 (Sputtering) 장치는 다양한 산업 및 연구 응용프로그램에서 정확하고 고품질의 박막 코팅을 달성하기 위한 기술적으로 첨단 솔루션입니다. 혁신적인 설계, 유연한 프로세스 기능, 고급 제어 (Advanced Control) 기능을 통해 안정적이고 효율적인 스퍼터링 솔루션을 원하는 기업을 위한 최고의 선택입니다.
아직 리뷰가 없습니다