판매용 중고 HITACHI E-1030 #9377261

HITACHI E-1030은 속도, 균일성, 프로세스 유연성의 조합을 제공하는 고성능 DC 하이브리드 스퍼터 증착 장비입니다. 그것 은 "박막 '을 반도체, 유리, 기타 재료 와 같은 기판 에 스퍼터' 증착 시키는 강력 한 도구 이다. 코어에서 E-1030은 고주파 AC/DC 전원 스위칭과 전원 규제를 위해 선형 DC/DC 변환기를 사용합니다. 이 강력한 시스템은 각각 0.5 ~ 200W의 조정 가능한 목표 전력 수준을 가진 5 개의 스퍼터 소스에서 최대 1.5kW의 스퍼터 파워를 제공 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 균일 한 필름 증착을위한 자동 대상 전원 제어 (옵션) 를 갖추고 있습니다. HITACHI E-1030의 고유 선형 DC/DC 변환기는 또한 0.1 ~ 100nm/min의 조절 가능한 스퍼터 증착률을 허용합니다. 이 기계는 산화물, 금속 및 기타 물질을 고도의 등각 코팅 (conformal coating) 및 피쳐 정의로 생성 할 수 있습니다. E-1030 의 조절 가능한 스퍼터 소스 (sputter source) 는 기판 크기에 관계없이 얇은 필름을 균일하게 증착하도록 설계되었습니다. 공구의 자동 대상 전원 제어 (auto-target power control) 기능을 통해 기판 크기에 관계없이 적절한 목표 전원 수준에서 증착이 수행됩니다. HITACHI E-1030 의 다중 영역 (multi-zone) 기능을 사용하면 동일한 기판 내의 여러 위치나 영역에서 별도로 스퍼터링을 수행할 수 있습니다. 에셋은 또한 박막 (thin film) 을 기판에 정확하게 타겟팅 및 증착하기위한 자동 정렬 모델을 포함합니다. E-1030은 질적 증착률과 향상된 프로세스 제어를 제공하기 위해 제작되었습니다. 자동 연동 장비는 프로세스 안정성과 프로세스 반복성을 보장합니다. 시스템의 통합 제어판 (Integrated Control Panel) 에는 증착 매개변수가 실시간으로 표시되므로 빠르고 균일한 프로세스 제어가 가능합니다. 또한, 고급 실시간 모니터 유닛은 프로세스 데이터 검토 및 프로세스 최적화를 지원합니다. HITACHI E-1030 은 다용도가 높은 기계로, 광범위한 스퍼터 증착 애플리케이션에 적합합니다. 높은 전류, 높은 처리율, 빠른 전력 전환, 유연한 프로세스 제어 기능을 갖춘 E-1030 은 스퍼터 (sputter) 증착에 매우 적합한 제품입니다.