판매용 중고 HITACHI E-1020 #9284033

HITACHI E-1020은 박막 증착에 사용되는 고급 스퍼터링 장비입니다. 대체 시스템에 비해 증착 속도와 균일성이 향상되었습니다. E-1020 은 스퍼터링 대상 (sputtering target) 과 기판 홀더 사이의 호출 가능성을 최소화하기 위해 물리적으로 설계되었습니다. 이 작업은 특수 설계 대상 홀더 (target holder) 를 사용하여 그라운드 루프 (ground loop) 를 방지하고 효율적인 냉각 시스템을 제공합니다. 이를 통해 증착 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. HITACHI E-1020은 또한 저압 반응 챔버를 사용하여 스퍼터링 가스 분자가 더 높은 속도로 이동할 수 있습니다. 이렇게 하면 기판 "홀더 '가 민감 한 활동 층 을 손상 시킬 수 있는 입자 로부터 자유 케 된다. 반응 챔버 (reaction chamber) 는 또한 전력 강착 중에도 스퍼터링 대상의 온도를 감소시킵니다. E-1020 에는 자동 재료 디스펜서 장치 (Automated Material Dispenser Unit) 가 장착되어 있어 퇴적된 레이어의 두께와 균일성을 제어할 수 있습니다. 기계는 스퍼터링 건 (Sputtering Gun) 의 힘을 정확하게 제어 할 수 있으므로 정확한 응용 계층 (Application Layer) 을 달성 할 수 있습니다. 스퍼터링 공구에는 견고한 진공 챔버 (vacuum chamber) 가 장착되어 1E-9 토르 이상의 진공이 설정 될 수 있습니다. 이것은 구성 요소의 신뢰할 수있는 전제 조건 인 우수한 코팅 균일성을 얻는 데 중요합니다. HITACHI E-1020에는 고급 안전 기능도 장착되어 있습니다. 자동화 된 반응 챔버 (reaction chamber) 및 목표 교체 자산 (target replacement asset) 이 특징이며, 운영자 손상의 위험을 크게 줄입니다. 또한, 과열 및 과열 시나리오로부터 보호하기 위해 몇 가지 보호 장치가 있습니다. 마지막으로, E-1020 은 다양한 소프트웨어/하드웨어 인터페이스를 갖추고 있어 다른 시스템에 쉽게 연결할 수 있습니다. 이렇게 하면 재료 템플릿 일치 (material template matching) 및 코팅 두께 테스트 (coating thickness testing) 와 같은 다양한 응용 프로그램이 열립니다. HITACHI E-1020은 다양하고 안정적인 스퍼터링 모델입니다. 고급 기능을 사용하여 비용 효율적이고 우수한 품질의 코팅 (coating) 을 만들 수 있습니다. 광전자 공학 (optoelectronics) 에서 생의학 (biomedical) 에 이르기까지 다양한 산업에서 사용하기에 이상적입니다.