판매용 중고 GILITEK IBSV-1100-MC #9354749
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GILITEK IBSV-1100-MC는 주로 박막 증착 및 물리적 증착 프로세스에 사용되는 이중 총, 중형 용량, DC 다이오드 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 통합 RF (무선 주파수) 생성기, 가스 혼합 제어 장치, 자동 펌핑 기계 및 안전하고 효율적인 증착 작업에 필요한 모든 하드웨어가 포함됩니다. IBSV-1100-MC (IBSV-1100-MC) 는 1.2m3의 볼륨을 가진 대형 처리 챔버를 특징으로하며, 이는 넓은 영역 기판을 증착 할 수 있습니다. 챔버는 최대 450mm (밀리미터) 절단 된 원뿔을 처리 할 수있는 2 개의 2.8kW (킬로와트) DC 다이오드 스퍼터링 건으로 설계되었습니다. 다이오드 스퍼터링 건 (Diode sputtering gun) 은 스퍼터 레이트가 높아 필름 균일성이 뛰어나며, 평면 패널 디스플레이 (Flat Panel Display) 및 넓은 영역 금속 패턴화 (Large Area Metal Patterning) 와 같은 넓은 영역 응용 분야에 적합합니다. GILITEK IBSV-1100-MC에는 가스 흐름 안전 인터 록 (gas flow safety interlock), 가변 제어 및 목표 압력 제어를위한 진공 지표 (vacuum indicator) 를 포함한 다양한 안전 및 편의 기능이 포함되어 있습니다. 자산은 스퍼터링 건 (sputtering gun) 과 샘플 (sample) 사이의 간격을 일정한 거리에서 자동으로 유지하여 일관된 결과를 얻습니다. IBSV-1100-MC에는 통합 기본 압력 측정 모델과 폐쇄 루프 압력 제어가 있습니다. GILITEK IBSV-1100-MC는 뛰어난 영화 균일성 및 접착력뿐만 아니라 매우 높은 증착률을 제공합니다. 이 장비는 유리, 플라스틱 등 다양한 기판에 광범위한 재료 (금속, 규산염, 산화물 포함) 를 증착 할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 여러 소스 재료 및 반응성 가스 믹스 (reactive gas mix) 를 수용 할 수 있으므로 전기 및 광학 박막 (optical thin film) 과 같은 다양한 프로세스에 적합합니다. 결론적으로, IBSV-1100-MC는 고급적이고 신뢰할 수있는 이중 총, 중형 용량, DC 다이오드 스퍼터링 장치이며, 다양한 박막 증착 및 물리적 증착 프로세스에 이상적입니다. 수많은 안전 기능 (Safety Features) 과 우수한 증착율 (Deposition Rate) 은 대형 프로세싱 챔버 (Processing Chamber) 와 다양한 맞춤형 프로세스와 연계되어 모든 업계에 적합한 제품입니다.
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