판매용 중고 GILITEK IBSV-1030 #9354747

GILITEK IBSV-1030
ID: 9354747
Ion Beam Sputtering (IBS) system With turbo pump POLYCOLD.
GILITEK IBSV-1030은 최고급 프로세스를 위해 설계된 고성능, 정밀 설계 스퍼터링 장비입니다. 최대 4 개의 회전식 스퍼터링 소스와 일관되고 반복 가능한 결과를 보장하는 내장 냉각 장치 (cooling unit) 가있는 진공 기반 증착 시스템이 특징입니다. 회전 마그네트론 건 (rotary-magnetron gun) 기능은 최소 결함이있는 정밀한 고품질 필름을 생산하도록 설계되었습니다. 광범위한 처리 가스와 압력 제어 (pressure control) 를 통해 IBSV-1030은 탁월한 필름 균일성과 구성을 달성 할 수 있으며, 고급 컨트롤은 운영자에게 최고의 프로세스 제어 및 장기 기계 안정성을 제공합니다. GILITEK IBSV-1030의 디자인은 안정적인 온도 조절과 매우 낮은 산포를 제공합니다. 통합 및 고급 PLC 컨트롤러를 사용하면 진공 공구 매개변수를 쉽게 모니터링, 제어, 사용자 정의할 수 있습니다. 자산은 구성 능력이 뛰어나며, 다양한 애플리케이션 요구 사항을 충족하도록 확장할 수 있습니다. 올인원 (All-in-One) 운영 플랫폼을 갖추고 있으며 이더넷을 통한 교정 및 사전 설정 매개변수와 함께 RTOS 자동 제어를 지원합니다. IBSV-1030 은 주 스퍼터링 (Sputtering) 모델뿐 아니라, 정확한 준비 및 후처리를 위해 다양한 액세서리와 구성 요소가 함께 제공됩니다. 여기에는 프로세스의 각 단계에서 최적의 성능을 보장하기 위해 자동 드라이브 플레이트 포지셔닝 장비, 스퍼터링 헤드, 터보 펌프, 고전압 전원 공급 장치, RF 생성기 및 기타 구성 요소가 포함됩니다. GILITEK IBSV-1030은 고성능 증착 프로세스를 위해 설계되었으며, 다양한 옵션 기능을 제공합니다. 여기에는 정확한 가스 흐름을위한 자동 가스 제어; 고속 기판 운송 시스템; 그리고 단일 또는 다층 필름의 증착을위한 스퍼터 대상 보유자, 모터 및 챔버. 여기에는 품질 보증 및 데이터 로깅을 위한 고급 실시간 모니터링/제어 시스템이 포함됩니다. 요약하면, IBSV-1030은 정확하고 반복 가능한 결과를 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장치입니다. 공정의 각 단계에서 최적의 성능을 보장하기 위해 고급 프로세스 제어 (process control), 안정된 온도 제어 (stable temperature control) 및 최소 산포 (minimal spatter) 를 제공합니다. 옵션으로 제공되는 기능 (옵션) 과 컴포넌트 (component) 를 사용하여 모든 응용 프로그램의 요구 사항을 충족하도록 시스템을 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다.
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