판매용 중고 GILITEK IBSV-1030-V2 #9070264
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ID: 9070264
Ion Beam Sputtering (IBS) system
Targets: 2 / 4
Optical monitoring system
Cryo pump: SHI / CTI
Dry pump
Front / Back heaters
Coating temperature: 200ºC
Coating area: φ350 mm
(4) Planetary substrate holders, 6"
Target position: Adjustable program control during coating
Adjust shadow mask
Coating jig: Face down on chamber top / On chamber door
Feedback control for film thickness uniformity
Support substrate with and without center hole.
GILITEK IBSV-1030-V2 스퍼터링 장비는 고급 재료 연구를위한 물리적, 화학적, 열 과정의 일체형 소스입니다. IBSV-1030-V2에는 2 개의 전원 공급 장치, 증착 소스, 진공, cryo-pumping 및 4 개의 독립적 인 스퍼터 및 증발 소스가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 최대 5,000 옹스트롬의 두께와 최대 80% 의 등각 범위의 영화를 제작할 수 있습니다. GILITEK IBSV-1030-V2는 1x10 Torr 등급의 표준 고진공 챔버를 사용하며, 1x10-7 Torr의 작동 기본 압력을 달성 할 수있는 강력한 확산 펌프를 갖추고 있습니다. 독립 뷰 포트, 4-way 조작기, 자동 균형 장치를 사용하면 챔버 내에서 정확한 제어 및 위치를 지정할 수 있습니다. 물리적 스퍼터 증착은 4 개의 독립적 인 소스를 통해 활성화됩니다. 소스는 금속 및 산화물의 등각 증착뿐만 아니라 평면을 모두 지원하도록 구성됩니다. 이 기계는 규산염 안경 (Silicate glasses) 과 폴리머 (polymer) 를 포함한 다양한 기질에서 우수한 접착력을 가진 몇 개의 옹스트롬 (Angstroms) 에서 여러 미크론 (micron) 으로 두께를 가진 필름을 생산할 수 있습니다. CVD (chemical vapor deposition) 기능은 새로운 증기 소스의 도입으로 향상되었습니다. 이 증기 공급원은 GaN 또는 MoS2와 같은 MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 필름과 폴리머 및 탄소 나노 튜브와 같은 다른 물질을 증착 할 수 있습니다. 또한 조정 가능한 플럭스 (flux) 및 온도 조절을 가진 다양한 다른 재료의 승화 및 화학 보조 증착을 지원합니다. 열 기능은 전력 및 온도를 조정할 수 있는 외부 난방 (external heating) 요소를 통해 활성화됩니다. 이를 통해 어닐링 (annealing) 및 빠른 열 처리 (rapid thermal processing) 와 같은 다양한 프로세스가 가능합니다. 전반적으로 IBSV-1030-V2는 박막 증착, CVD 증착, 재료 열 처리 등 다양한 연구 응용 분야에 적합합니다. 이 도구는 최적의 접착 및 등각 범위로 고품질 영화를 제작할 수 있습니다. 고급 하드웨어 (advanced hardware) 는 고급 소프트웨어 (advanced software) 와 함께, 복잡한 프로세스와 관련하여 뛰어난 수준의 제어 및 유연성을 제공합니다. 길리텍 (GILITEK) IBSV-1030-V2는 다양한 응용 프로그램을 지원할 수있는 능력으로, 연구 기관과 산업 모두에게 이상적인 자산입니다.
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