판매용 중고 GILITEK EBG-800-DSC #9395809

GILITEK EBG-800-DSC
ID: 9395809
Ion Beam Sputtering (IBS) system BROOKS On-Board 400 Cold pump Osaka FR060D Mechanical pump INFICON High and low vacuum gauge with controller Telide flow meter VAT APC JOEL 6 Probe crystal control INFICON Controller CCR Auxiliary deposition ion source JOEL Electron gun Crucible Coating machine controller.
GILITEK EBG-800-DSC 스퍼터링 장비는 다양한 기판에서 박막 증착을 위해 설계된 고성능 코팅 기술입니다. 이 강력하고 유연한 시스템은 재료 과학 (materials science) 과 초고진공 (ultra-high vacuum) 기술의 최신 발전을 활용하여 스퍼터 프로세스를 정확하게 제어합니다. 이 장치는 고에너지 이온 빔을 사용하여 진공 환경에서 대상 재료를 침식하는 Electro Beam Gun (EBG-800) 을 특징으로합니다. 이온 빔은 고전압 전기장에 의해 생성되며 가스 (일반적으로 아르곤 (Argon)) 와 결합하여 이온화 된 플라즈마 구름을 형성합니다. 그런 다음, 이 "플라즈마 '구름 은 표적 물질 로 향하고, 표적 물질 의 표면 에서 원자 를 스퍼터링 하여, 기판 에 증착 시킬 수 있게 한다. EBG-800-DSC에는 고전압 제어가 가능한 EBG-800 전원 공급 장치가 포함되어 있어 정밀한 프로세스 제어가 가능합니다. EBG-800의 전력 출력 용량은 최대 4kW (고속 및 고밀도 스퍼터링) 입니다. GILITEK EBG-800-DSC에는 이온 빔 매개변수를 정확하게 제어하는 다중 채널 컨트롤러 인 DSC (Dynamic Source Controller) 도 장착되어 있습니다. 이 기계에는 온도 및 압력 센서가 포함되어 있으며, 프로그래밍 가능한 컨트롤러를 통해 원격으로 작동 할 수 있습니다. 원격 작업을 통해 스퍼터링 프로세스를 쉽게 설정하고 최적화할 수 있습니다. EBG-800-DSC 도구는 다양한 스퍼터링 응용 프로그램에 적합합니다. 에셋에는 자동화된 밸브 제어 모델 (automated valve control model) 이 포함되어 있는데, 이 모델은 아르곤 가스의 흐름을 제어하는 데 사용될 수 있으며, 다양한 유형의 기판 재료를 코팅하는 데 사용될 수 있습니다. GILITEK EBG-800-DSC에는 표적 재료, 기판 또는 챔버의 오염을 방지하는 먼지 제어 장비도 포함되어 있습니다. 이 시스템에는 스퍼터링 프로세스 모니터링, 제어, 최적화를 위한 강력한 소프트웨어 패키지가 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어는 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 실시간으로 테스트하고 분석할 수 있으며, 최적의 필름 품질 (film quality) 과 성능을 위해 매개변수를 조정하는 데 사용할 수 있습니다. EBG-800-DSC 스퍼터링 장치 (EBG-800-DSC sputtering unit) 는 다양한 기판에서 박막 증착을위한 강력하고 다양한 도구입니다. 강력한 하드웨어와 고급 소프트웨어 (advanced software) 의 조합은 스퍼터 프로세스를 정확하게 제어하여 고품질 코팅과 필름을 보장합니다.
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