판매용 중고 FULINTEC FU16-PSB #9409632

FULINTEC의 FULINTEC FU16-PSB는 PVD (Art Physical Vapor Deposition) 스퍼터링 장비의 상태입니다. 이 시스템은 고급 진공 증착 도구 (Advanced vacuum deposition tool) 로, 다양한 종류의 정교한 박막 재료 및 시스템을 생산하기 위해 특별히 설계되었습니다. 이 장치는 매우 유연한 플랫폼으로, 금속, 합금, 유전체, 화합물 등 다양한 표적을 처리 할 수 있습니다. 또한 도자기, "실리콘 ', 석영, 기타 재료 등 여러 가지 기판 재료 를 사용 하여 작업 할 수 있다. 다중 축 모듈식 설계를 통해 두께, 저항성, 결정 방향, 서피스 마무리, 균일성 등 적용 필름의 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 기계는 저압 아크 방전을 사용하여 소스 재료를 가열하고 스퍼터링을 용이하게합니다. 16 킬로와트 DC 전원 공급 장치와 감독 제어 인터페이스로 구동됩니다. 또한, 쉽게 샘플로드 및 언로딩을 위해 정전기 척 (electrostatic chuck) 이 장착되어 있습니다. 또한 자동 기판 처리 (automated substrate handling) 툴이 장착되어 있어 기판 로드 및 언로드를 자동화할 수 있습니다. 에셋은 일정한 기판 간 거리 (substrate-to-target distance) 를 유지하도록 설계되어 전체 기판에서 일관된 필름 품질과 성능을 보장합니다. FU16-PSB 모델에는 고정밀 이온 소스가 장착되어 있어 이온 빔 보조 증착 기술을 사용할 수 있습니다. 이렇게 하면, 훨씬 더 높은 증착율 과 더불어, 정교 한 층 및 화합물 을 생산 할 수 있다. 또한 다이렉트 드라이브 모션 컨트롤러 (direct-drive motion controller) 와 정밀 포인팅 장비가 장착되어 있어 고정밀 증착 패턴화가 가능합니다. 이 시스템은 가스 안전 차단 장치, 비활성 가스 고정 장치, 자동 가스 모니터링 도구, 외부 압력 컨트롤러, 수냉식 자산 등 안전 기능으로 설계되었습니다. 이것은 광범위한 진공 수준에서 안전하고 안정적인 작동을 가능하게합니다. FULINTEC FU16-PSB (FULINTEC FU16-PSB) 는 종합적이고 정밀도가 높은 PVD 스퍼터링 모델로, 다양한 재료와 시스템, 정교한 패턴 및 레이어를 생산할 수 있습니다. 모듈식 설계, 다양한 매개변수 (parameter), 안전 (safety) 기능을 통해 다양한 연구 및 생산 응용 프로그램에 이상적입니다.