판매용 중고 FHR Line 2500H #293811319

FHR Line 2500H는 반도체, 광학 및 연구 산업의 고성능 박막 증착 응용을 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 진공 코팅 장비의 주요 제조업체 인 FHR Anlagenbau GmbH가 개발 한 Line 2500H는 스퍼터링 기술의 최신 기술 발전을 나타냅니다. FHR 라인 2500H (FHR Line 2500H) 시스템의 핵심에는 여러 공정 스테이션이있는 고진공 챔버 (high-vacuum chamber) 가 있으며, 각각 정밀도와 균일성이 높은 광범위한 재료를 증착하기위한 마그네트론 스퍼터 소스가 장착되어 있습니다. 이 장치는 직경 300 밀리미터 (300mm) 의 기판을 수용하도록 설계되어 대규모 생산 및 연구 응용에 적합합니다. 라인 2500H (Line 2500H) 는 증착률, 필름 두께, 컴포지션 및 균일성을 포함하여 스퍼터링 프로세스 매개변수를 정확하게 제어 할 수있는 정교한 제어 머신을 특징으로합니다. 이 도구는 DC 및 RF 스퍼터링 (sputtering) 모드 모두에서 작동하여 프로세스 개발 및 최적화에 유연성을 제공합니다. FHR 라인 2500H (FHR Line 2500H) 의 주요 특징 중 하나는 고급 기판 처리 자산으로, 높은 수준의 프로세스 청결성을 유지하면서 기판을 효율적으로 로드 및 언로드합니다. 이 모델에는 정밀도와 재생성이 높은 프로세스 스테이션 (process station) 간에 기판을 전송할 수있는 로봇 암 (robotic arm) 이 장착되어 있으며, 다운타임을 최소화하고 생산성을 높입니다. 라인 2500H (Line 2500H) 에는 운영자 보호 및 장비 신뢰성을 보장하기 위해 포괄적인 안전 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 진공 수준, 가스 흐름, 온도 등 시스템 매개변수를 모니터링하는 인터 록 (interlock) 과 센서 (sensor) 가 포함되며, 이상 발생 시 자동 종료가 트리거됩니다. FHR 라인 2500H (FHR Line 2500H) 의 스퍼터링 소스는 높은 목표 활용도와 장기적인 안정성을 위해 설계되었으며, 일관된 필름 품질을 보장하고 유지 보수 다운타임을 최소화합니다. 이 장치에는 광학 방출 분광법 (optical emission spectroscopy) 및 석영 결정 미생물 (quartz crystal microbalance) 과 같은 현장 프로세스 모니터링 기능이 장착되어 있어 증착 과정의 실시간 모니터링 및 프로세스 매개변수의 피드백 제어가 가능합니다. 2500H 라인 (Line 2500H) 은 고성능 기능 외에도 확장성을 고려하여 설계되었으며, 향후 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있도록 추가 프로세스 스테이션이나 업그레이드를 손쉽게 통합할 수 있습니다. 이 기계는 또한 FHR (FHR Team of Technical Expert) 의 지원을 받으며, 설치, 교육 및 지속적인 지원을 제공하여 툴의 최적의 성능을 보장합니다. 결론적으로, FHR Line 2500H 스퍼터링 자산은 고성능 박막 증착 응용프로그램을 위한 다재다능하고 안정적인 도구이며, 반도체, 광학, 연구 산업의 진화하는 요구를 충족시키는 고급 기능, 정확한 제어 및 확장성을 제공합니다. 최첨단 기술과 견고한 설계를 통해 고품질 스퍼터링 솔루션 (Sputtering Solution) 을 추구하는 연구자와 제조업체에게는 최고의 선택이 됩니다.