판매용 중고 EVATEC Radiance #9266824

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ID: 9266824
Physical Vapor Deposition (PVD) system.
EVATEC Radiance는 물리적 증기 증착 응용을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 작은 조각에서 전체 웨이퍼까지 다양한 샘플 크기를 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 파릴렌, 비정질 탄소와 같은 유전체 코팅과 금속, 산화물, 질화물을 증착 할 수 있습니다. "코우팅 '은 제어 된 방법 으로 기판 에 적용 되어, 접착 특성 이 좋은 균질 한 층 을 만든다. 스퍼터 대상은 스테인리스 스틸 챔버 (stainless steel chamber) 에 장착되어 스퍼터링 온도까지 가열됩니다. 앤티 챔버 (antechamber) 는 가스 입구를 수용하여 챔버를 빠르고 효율적으로 제거 할 수 있습니다. 스퍼터 표적은 이온 소스의 이온으로 폭격되어 플라즈마를 만듭니다. "이온 '은 특정 한 각도 로 표적 을 명중 시켜, 기판 위 에 고른" 필름' 을 만든다. Radiance에는 여러 가지 구성이 있으므로 기판 크기, 코팅 두께, 증착 속도 및 조성이 크게 변합니다. 그것은 뛰어난 균일성을 가지고 있으며, 반도체, 항공 우주 및 자동차 산업에 적합합니다. 또한 거울 및 장식 마감 (decorative finish) 과 같은 높은 반사도 및 보호 코팅을 만드는 데에도 적합합니다. 이 장치는 사용자 친화적이며 터치 스크린 디스플레이가 커서 작업 효율이 높습니다 (영문). 또한 데이터 스토리지 모듈이 장착되어 있어 엄격한 추적이 가능합니다. 컨트롤러에는 작동 시간을 단축하는 기본 제공 레시피가 장착되어 있습니다. 제어 (Control) 소프트웨어를 사용하면 컴퓨터에서 전체 시스템을 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 여기에는 프로세스 정보, 그래프 및 경향 분석과 같은 기능이 포함됩니다. 소프트웨어를 프로그래밍하여 여러 스퍼터링 시스템을 동시에 제어할 수도 있습니다. EVATEC Radiance 는 안정적이고 견고한 스퍼터링 툴로서, 광범위한 애플리케이션에 적합합니다. 제어 소프트웨어와 사용하기 쉬운 인터페이스를 통해 스퍼터링 (sputtering) 을 만듭니다. 이 자산은 균일 하고 견고한 코팅 (coating) 을 만들 수 있으며, 이는 신뢰할 수 있고 반복 가능한 스퍼터링 증착 과정이 필요한 모든 사람에게 완벽한 모델입니다.
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